[發(fā)明專(zhuān)利]一種異質(zhì)結(jié)電池的濕化學(xué)處理方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610594426.3
• 申請(qǐng)日: 2016-07-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107658367A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-02-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張杰;宋廣華
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 福建金石能源有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L31/18
• 分類(lèi)號(hào): H01L31/18;H01L21/02
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種異質(zhì)結(jié)電池的濕化學(xué)處理方法，其特征在于：所述處理方法包括如下步驟：

將硅片放入含有臭氧的堿性液中進(jìn)行預(yù)清洗，然后用去離子水漂洗；；

對(duì)預(yù)清洗后的硅片進(jìn)行去損傷層處理，然后用去離子水漂洗干凈；；

對(duì)去損傷層處理后的硅片放入堿性溶液和制絨添加劑的混合溶液中進(jìn)行制絨，然后用去離子水漂洗；

將制絨處理后的硅片放入鹽酸和氫氟酸的混合溶液中進(jìn)行酸堿中和清洗，然后用去離子水漂洗；

將酸堿中和清洗后的硅片用HF/HCL/O₃混合溶液進(jìn)行圓潤(rùn)化清洗，去除有機(jī)物、金屬離子以及氧化和蝕刻硅，圓潤(rùn)化硅片；

對(duì)圓潤(rùn)化清洗后的硅片進(jìn)行后清洗；

將后清洗的硅片慢提拉脫水，并用氮?dú)夂娓伞?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種異質(zhì)結(jié)電池的濕化學(xué)處理方法，其特征在于：所述步驟將硅片放入含有臭氧的堿性液中進(jìn)行預(yù)清洗為將硅片放入中臭氧濃度為5-35ppm，質(zhì)量百分比為0.01％-0.5％的氫氧化鉀，預(yù)清洗在溫度為30-50℃下處理2-10分鐘。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種異質(zhì)結(jié)電池的濕化學(xué)處理方法，其特征在于：所述步驟對(duì)預(yù)清洗后的硅片進(jìn)行去損傷層處理為將硅片放入質(zhì)量百分比為3％-20％，去離子水質(zhì)量百分比為80％-97％的氫氧化鉀溶液，反應(yīng)溫度為70℃-90℃下處理1-5分鐘，去除掉表面的機(jī)械損傷層，硅片腐蝕深度為5-20um。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種異質(zhì)結(jié)電池的濕化學(xué)處理方法，其特征在于：所述步驟對(duì)去損傷層處理后的硅片放入堿性溶液和制絨添加劑的混合溶液中進(jìn)行制絨為將硅片放入質(zhì)量百分比為0.5％-3％的氫氧化鉀溶液中，溫度為75-85℃下進(jìn)行，制絨時(shí)間為15-40分鐘。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種異質(zhì)結(jié)電池的濕化學(xué)處理方法，其特征在于：所述步驟將制絨處理后的硅片放入鹽酸和氫氟酸的混合溶液中進(jìn)行酸堿中和清洗的混合溶液中鹽酸所用的質(zhì)量百分比為1％-5％，氫氟酸所用的質(zhì)量百分比為0.5％-3％，硅片在溫度為20-30℃的鹽酸和氫氟酸的混合溶液中處理3-10分鐘。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種異質(zhì)結(jié)電池的濕化學(xué)處理方法，其特征在于：所述步驟圓潤(rùn)化清洗在HF/HCL/O₃混合溶液中鹽酸質(zhì)量百分比在2％-10％，HF酸質(zhì)量百分比在0.5％-5％，臭氧濃度在5-35ppm；硅片在溫度為30-50℃的HF/HCL/O₃混合溶液中清洗5-20分鐘。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述一種異質(zhì)結(jié)電池的濕化學(xué)處理方法，其特征在于：所述步驟后清洗為將放入硅片質(zhì)量百分比為0.5％-8％的HF酸，質(zhì)量百分比為92％-99.5％的去離子水，在溫度為20℃-30℃的HF酸溶液中的處理1-6分鐘。