[發明專利]校準橢偏儀的膜厚樣片、檢驗樣片及其檢驗方法有效
| 申請號： | 201610593087.7 | 申請日： | 2016-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN106052573B | 公開（公告）日： | 2019-04-16 |
| 發明（設計）人： | 李鎖印 | 申請（專利權）人： | 中國電子科技集團公司第十三研究所 |
| 主分類號： | G01B11/06 | 分類號： | G01B11/06;G01N21/21;G01N21/41 |
| 代理公司： | 石家莊國為知識產權事務所 13120 | 代理人： | 申超平 |
| 地址： | 050051 *** | 國省代碼： | 河北;13 |
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| 搜索關鍵詞： | 校準 橢偏儀 樣片 檢驗 及其 方法 | ||
【權利要求書】：
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