[發明專利]清潔頭及清掃方法

在審

• 申請號: 201610592679.7
• 申請日: 2016-07-25
• 公開（公告）號: CN106607396A
• 公開（公告）日: 2017-05-03
• 發明（設計）人: 白根智博
• 申請（專利權）人: 修谷魯開發股份有限公司
• 主分類號: B08B5/02
• 分類號: B08B5/02;B08B5/04;B08B1/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所11105
• 代理人: 岳雪蘭

技術領域

本發明涉及具有對空氣吸引口及其周圍進行清掃的功能的清潔頭及其清掃方法。

背景技術

在半導體晶片、液晶顯示器的玻璃板、薄膜等各種基板(以下僅稱為基板)的制造工序中，需要進行將塵埃從基板表面除去的除塵。例如，在基板的水平搬送路徑上方配置清潔頭，通過清潔頭對被搬送的基板進行除塵。

在清潔頭的底面形成有空氣噴射口和空氣吸引口?？諝鈬娚淇诩翱諝馕谑窃谙鄬τ诨灏崴头较虼笾麓怪钡姆较蛏祥L的狹縫。清潔頭的空氣噴射口向被搬送的基板噴射清潔空氣而吹走塵埃，另外，空氣吸引口從基板將飛散的塵埃與周圍的空氣一起吸入，對基板整個表面進行除塵。

在該清潔頭的空氣吸引口會夾入玻璃或薄膜的碎片，或碎片由于靜電而粘附在空氣吸引口的周圍。該異物可能對被搬送的基板造成損傷。另外，尤其是在異物夾在空氣吸引口的情況下，吸引力在該部位減弱，而不能進行該部位的除塵。固著在空氣吸引口及其周圍的異物使基板品質降低，并使基板制造的成品率惡化。

近年來，隨著基板的大型化及薄型化的推進，即使是固著在清潔頭上的肉眼難以確認的較小的異物也有可能對基板品質產生大的影響。

為了防止基板品質的降低而需要對異物進行清掃除去，但不能確定這樣的異物是何時固著的。因此，在以往的清掃作業中，在產生基板不良時判斷為異物固著，作業人員通過擦拭來對固著在空氣吸引口及其周圍的異物進行清掃除去。

然而，從搬送臺到清潔頭底面的縫隙只有幾毫米左右，空氣吸引口及其周圍處于狹窄的部位，不容易通過擦除來進行異物的清掃除去。該清掃作業除了存在可操作性差的問題以外，還成為產生新的塵埃的主要原因。

而且，如果由于該清掃作業操作困難而引起制造設備的停止時間變長，則損失了制造時間，并且人力成本也增大。在這樣的現有技術中，存在由于異物固著在清潔頭上和對其進行清掃除去而引起的制造成本增大的問題。

于是，提出了簡單且迅速地對清潔頭的空氣吸引口及其周圍的異物機械地進行清掃除去這一課題。目前沒有發現這樣的對清潔頭的空氣吸引口進行清掃的裝置的現有技術。

在與清潔頭不同的其他技術領域中，例如在專利文獻1(特許第4773209號公報)中公開了機械地對異物進行清掃的裝置的現有技術。在專利文獻1的部件按壓裝置中，在其圖6A、圖6B、圖3A、圖3B等中記載了使刷子狀的清掃部件21與臺面17的上表面接觸且向水平方向移動而除去異物的構造。

另外，例如在專利文獻2(特許第4031625號公報)中公開了機械地對異物進行清掃的裝置的其他現有技術。在專利文獻2的電子部件組裝裝置中，在其圖3、圖4等中記載了利用刷子10除去支承面的上表面的異物的構造。

另外，例如在專利文獻3(特許第3757215號公報)中公開了機械地對異物進行清掃的裝置的其他現有技術。在專利文獻3的除塵裝置中，在其圖5等中記載了通過第二刮板40的刮取部41刮取夾在第一刮板30的齒31上的灰塵。

另外，例如在專利文獻4(特開2014-46502號公報)中公開了機械地對異物進行清掃的裝置的其他現有技術。在專利文獻4的液體噴射裝置中，尤其是在其圖5、圖6中記載了使清掃部件40與液體噴射頭10的液體噴射面12接觸且水平移動來除去異物。

在現有技術的清潔頭中，由于很少發生異物固著這一現象和隨之而來的問題，所以沒有考慮到這些問題。因此，沒有著眼于機械地對附著在清潔頭上的異物進行清掃除去這一點。

專利文獻1～4所記載的裝置均通過接觸來對異物進行清掃除去，但是都沒有公開將清潔頭的空氣吸引口及其周圍的異物除去的裝置。

專利文獻1：(日本)特許第4773209號公報(圖6A、圖6B、圖3A、圖3B)

專利文獻2：(日本)特許第4031625號公報(圖3、圖4)

專利文獻3：(日本)特許第3757215號公報(圖5)

專利文獻4：(日本)特開2014-46502號公報(圖5、圖6)

發明內容

發明所要解決的技術問題

本發明是為了解決上述新注意到的課題而做出的，其目的在于，提供一種清潔頭及清掃方法，該清潔頭具有簡單且迅速地除去頭主體的空氣吸引口及其周圍的異物的清掃功能，能夠使基板品質提高且使制造成本降低。

用于解決技術問題的技術方案

為了解決上述技術問題，技術方案1所述的發明的特征在于，

清潔頭搭載有：頭主體，其在長度方向上形成有成為長孔的空氣吸引口；清掃裝置，其對所述頭主體的空氣吸引口及其周圍進行清掃；

所述清掃裝置具備：