[發(fā)明專利]阻焊獨立對位臺框及曝光機

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610590681.0
• 申請日: 2016-07-26
• 公開（公告）號: CN106054542B
• 公開（公告）日: 2017-10-03
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張方德;謝桂平
• 申請（專利權(quán)）人: 浙江歐視達科技有限公司
• 主分類號: G03F9/00
• 分類號: G03F9/00
• 代理公司: 溫州金甌專利事務(wù)所(普通合伙)33237
• 代理人: 林益建

1.一種阻焊獨立對位臺框，包括上臺框和下臺框，所述上臺框和所述下臺框的后端相互鉸接而前端可開閉，所述下臺框兩相對側(cè)設(shè)有開啟機構(gòu)，其特征在于：所述下臺框底部設(shè)置固定支架，且該固定支架與下臺框聯(lián)動配合，所述下臺框中間設(shè)有托盤，所述托盤相對下臺框構(gòu)成X向、Y向位移配合，且所述托盤與下臺框之間通過密封件密封配合，所述托盤下方設(shè)置用于驅(qū)使托盤沿X向或Y向移動或角度偏轉(zhuǎn)的位移驅(qū)動裝置，所述位移驅(qū)動裝置的底部固定設(shè)置在固定支架上，所述托盤前端底部設(shè)置用于帶動曝光基板進行位置偏移調(diào)整的伸縮PIN釘，所述上臺框和下臺框設(shè)有抽真空結(jié)構(gòu)，所述開啟機構(gòu)設(shè)有一控制氣缸和一鉸接軸，所述控制氣缸和鉸接軸均呈前后設(shè)置，所述控制氣缸的前端鉸接在所述下臺框上，所述控制氣缸設(shè)有可使相應(yīng)的鉸接軸上下擺動的伸縮推桿，所述伸縮推桿的后端連接至相應(yīng)的鉸接軸的中部，所述鉸接軸的后端鉸接在所述下臺框上，所述鉸接軸的內(nèi)側(cè)凹設(shè)有自前端向后端延伸的滑槽，所述上臺框的外側(cè)面設(shè)有伸入所述滑槽內(nèi)并在所述鉸接軸上下擺動時可沿所述滑槽移動的連接件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻焊獨立對位臺框，其特征在于，所述托盤周向設(shè)置可充氣氣墊，所述可充氣氣墊與抽真空結(jié)構(gòu)連通。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻焊獨立對位臺框，其特征在于，所述上臺框與下臺框的鉸接處設(shè)有限位件，所述限位件包括兩組設(shè)置在下臺框上的豎直對稱設(shè)置的限位槽，所述限位槽呈長條形，所述上臺框上相對應(yīng)設(shè)置限位凸塊，所述限位凸塊置于兩個限位槽之間，且與限位槽構(gòu)成上下滑移配合。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻焊獨立對位臺框，其特征在于，所述上臺框和下臺框之間設(shè)置若干個定位機構(gòu)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的阻焊獨立對位臺框，其特征在于，所述定位機構(gòu)包括設(shè)置在下臺框上的滾輪定位模組以及設(shè)置在上臺框上的可對應(yīng)插置于所述滾輪定位模組上的定位塊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻焊獨立對位臺框，其特征在于，所述伸縮PIN釘包括氣缸；

活動支架，所述活動支架經(jīng)配置能受氣缸驅(qū)動相對于該下臺框位移；

PIN針，設(shè)置在該活動支架上并且能受驅(qū)動穿設(shè)于線路板，且?guī)釉摼€路板隨該活動支架相對于該下臺框位移。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的阻焊獨立對位臺框，其特征在于，所述PIN針與活動支架之間設(shè)有彈性件。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的阻焊獨立對位臺框，其特征在于，所述位移驅(qū)動裝置為UVW對位平臺，且所述UVW對位平臺的移動盤與托盤固定連接。

9.一種的阻焊獨立對位臺框的曝光機，其包括曝光機本體，其特征在于，所述曝光機本體內(nèi)設(shè)有兩個任意一條權(quán)利要求1、2、3、4、5、6、7或8 所述的阻焊獨立對位臺框。