[發明專利]可提高光刻精度的遮罩在審
| 申請號： | 201610586299.2 | 申請日： | 2016-07-22 |
| 公開（公告）號： | CN105954981A | 公開（公告）日： | 2016-09-21 |
| 發明（設計）人： | 呂耀安 | 申請（專利權）人： | 無錫宏納科技有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 無錫華源專利商標事務所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聶漢欽 |
| 地址： | 214000 江蘇省無錫市新區清源路*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 提高 光刻 精度 | ||
【權利要求書】：
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