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[發明專利]基于親疏水效應制備短溝道薄膜晶體管的方法在審

專利信息
申請號: 201610586256.4 申請日: 2016-07-22
公開(公告)號: CN106229410A 公開(公告)日: 2016-12-14
發明(設計)人: 蘭林鋒;李育智;彭俊彪 申請(專利權)人: 華南理工大學
主分類號: H01L51/05 分類號: H01L51/05;H01L51/40;H01L51/30
代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙)11350 代理人: 趙蕊紅
地址: 510640 廣*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 基于 親疏 效應 制備 溝道 薄膜晶體管 方法
【說明書】:
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