[發明專利]基于衍射的重疊量測工具和方法有效
| 申請號： | 201610585948.7 | 申請日： | 2008-12-09 |
| 公開（公告）號： | CN106019855B | 公開（公告）日： | 2019-05-03 |
| 發明（設計）人： | A·J·登鮑埃夫 | 申請（專利權）人： | ASML荷蘭有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 張啟程 |
| 地址： | 荷蘭維*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 衍射 重疊 工具 方法 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于ASML荷蘭有限公司，未經ASML荷蘭有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610585948.7/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種酶解靈芝粉的制備方法
- 下一篇：一種真空管道波紋補償結構
