[發明專利]一種離子注入機用光路對中工裝

在審

• 申請號: 201610582816.9
• 申請日: 2016-07-22
• 公開（公告）號: CN107644800A
• 公開（公告）日: 2018-01-30
• 發明（設計）人: 不公告發明人
• 申請（專利權）人: 北京中科信電子裝備有限公司
• 主分類號: H01J37/04
• 分類號: H01J37/04;H01J37/30;H01J37/317
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種離子注入機用光路對中工裝，其特征在于包括，束線腔體用工裝一(1)通過圓柱銷與螺釘固定在束線腔體(103)上，束線腔體用工裝二(2)同樣通過圓柱銷與螺釘固定在束線腔體(103)上；分析器用工裝一(3)、分析器用工裝二(6)均通過圓柱銷與螺釘固定在分析器(101)上，激光器固定組件(4)通過圓柱銷與螺釘固定在分析器(101)上，激光器(5)固定在激光器固定組件(4)；離子源區對中組件(7)通過圓柱銷與螺釘固定在預過濾組件(103)上。

2.如權利要求1所述的一種離子注入機用光路對中工裝，其特征在于，束線腔體用工裝一(1)、束線腔體用工裝二(2)、分析器用工裝一(3)上均有過光小孔，并且在理論設計上這三組孔在同一直線上。

3.如權利要求1所述的一種離子注入機用光路對中工裝，其特征在于，分析器用工裝二(6)離子源區對中組件(7)上均有過光小孔，并且在理論設計上這三組孔在同一直線上，并且在理論設計上這兩組孔在同一直線上。

4.如權利要求1所述的一種離子注入機用光路對中工裝，其特征在于，激光器固定組件(4)擁有兩個直線運動滑臺與一個轉動滑臺，用于調整激光器發射光的方向與空間位置。

5.如權利要求1所述的一種離子注入機用光路對中工裝，其特征在于，激光器(5)固定在激光器固定組件(4)上，該激光器有兩種，一種為發射綠光或紅光等可見光的直線激光器，另外一種為可以精確測量距離的測距激光器。