[發明專利]一種梯度高純熔融石英坩堝的制備工藝有效
| 申請號: | 201610581802.5 | 申請日: | 2016-07-22 |
| 公開(公告)號: | CN106278302B | 公開(公告)日: | 2019-01-04 |
| 發明(設計)人: | 熊震;尹長浩;劉超 | 申請(專利權)人: | 天合光能股份有限公司 |
| 主分類號: | C04B35/66 | 分類號: | C04B35/66;C04B35/14;C04B35/622;B28B1/26 |
| 代理公司: | 浙江永鼎律師事務所 33233 | 代理人: | 郭小麗 |
| 地址: | 213031 江蘇省常*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 石英顆粒 熔融石英 高純度 漿料 坩堝 模具 高純熔融石英 石英漿料 制備工藝 坩堝毛坯 澆注 骨架結構 可拆卸的 控制隔離 粒徑分布 石英坩堝 鑄錠過程 注入隔離 燒結 有機物 多晶硅 隔離膜 工藝球 膜形狀 熱引發 放入 高純 可用 內層 窯爐 注漿 固化 打磨 成型 修正 污染 | ||
1.一種梯度高純熔融石英坩堝的制備工藝,包括如下步驟:
S1:在不同容器中按照相同的工藝球磨高純的熔融石英漿料和普通純度的熔融石英漿料,并分別添加高純度石英顆粒和普通純度石英顆粒配制成可用于澆注的熔融石英漿料,且所述高純度石英顆粒和普通純度石英顆粒具有相同粒徑分布;
S2:在澆注的模具中放置一層有機物隔離膜,通過可拆卸的骨架結構控制隔離膜形狀和位置從而確定模具內、外注漿空間的比例;
S3:分別將高純度石英漿料和普通石英漿料注入隔離膜的內層和外層的模具中,澆注過程中逐步拆除控制隔離膜形狀的骨架結構,并同時增加高純度石英漿料和普通石英漿料以填補移除骨架結構的形成的空間;
S4:通過干燥或者熱引發固化使坩堝毛坯具有強度;
S5:將成型后的坩堝毛坯進行打磨修正后放入窯爐中進行燒結,通過增加預燒結工藝,首先使有機物隔離膜分解,然后將坩堝毛坯燒結成從坩堝外側到坩堝內側具有梯度高純度的坩堝成品。
2.根據權利要求1所述的制備工藝,其特征在于:在步驟S2中,所述有機物隔離膜的材料為低聚合度的聚丙烯、聚乙烯、聚苯乙烯中的一種或幾種的復合物。
3.根據權利要求1所述的制備工藝,其特征在于:在步驟S5中,通過下述步驟調節燒結工藝,使有機物隔離膜得到有效的分解:氧化性氣氛,400-600℃,保溫0.5-2h。
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