[發(fā)明專利]一種單晶硅柱面拋光工裝在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610579869.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-07-22 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106002623A | 公開(kāi)（公告）日： | 2016-10-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 陳興建;江宗宇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 成都貝瑞光電科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B41/06 | 分類號(hào)： | B24B41/06;B24B41/00;B24B23/02 |
| 代理公司： | 成都行之專利代理事務(wù)所(普通合伙)51220 | 代理人： | 馬碧娜 |
| 地址： | 610000 四*** | 國(guó)省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 單晶硅 柱面 拋光 工裝 | ||
【權(quán)利要求書(shū)】：
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