[發(fā)明專利]掃描鏡裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610573084.7
• 申請(qǐng)日: 2016-07-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN107643594B
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-05-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 沈文江;何嘉輝;余暉俊
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州希景微機(jī)電科技有限公司
• 主分類號(hào): G02B26/10
• 分類號(hào): G02B26/10
• 代理公司: 深圳市銘粵知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44304
• 代理人: 孫偉峰

本發(fā)明提供了一種掃描鏡裝置，包括：基座；設(shè)置于所述基座中且彼此相對(duì)的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽均用于容置電線圈；與所述基座相對(duì)設(shè)置的承載板，所述承載板中具有第一通孔；設(shè)置于所述第一通孔中的振鏡，所述振鏡的相對(duì)兩端分別與所述承載板活動(dòng)連接，所述振鏡能夠以其相對(duì)兩端之間的連線為軸線進(jìn)行偏轉(zhuǎn)；設(shè)置于所述振鏡一表面上的磁性體；其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽之間的連線與所述振鏡的相對(duì)兩端之間的連線相交。本發(fā)明集磁性體與振鏡于一體，并采用外置電線圈的電磁驅(qū)動(dòng)方式為掃描鏡裝置提供了很大的驅(qū)動(dòng)力，滿足了掃描鏡裝置的高分辨率及大屏幕成像的要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于微掃描電鏡技術(shù)領(lǐng)域，具體地講，涉及一種掃描鏡裝置。

背景技術(shù)

光學(xué)掃描鏡裝置是一種優(yōu)秀的矢量掃描設(shè)備，能使入射光束按照特定的方式與時(shí)間順序發(fā)生反射，從而在像面上實(shí)現(xiàn)掃描成像。傳統(tǒng)的光學(xué)掃描鏡裝置體積大、成本高，且多為散裝，大大限制了其應(yīng)用。相較于傳統(tǒng)掃描鏡裝置，MEMS掃描鏡裝置由于其低成本、高可靠性、小型化和重量輕等優(yōu)點(diǎn)在眾多領(lǐng)域得到應(yīng)用，如激光投影、激光雷達(dá)、激光散斑消除等。在激光投影系統(tǒng)和激光散斑消除系統(tǒng)中，為了減小光束反射過(guò)程中的衍射效應(yīng)并且得到高分辨率的圖像，光學(xué)系統(tǒng)中的光束尺寸均在厘米量級(jí)；同時(shí)，經(jīng)過(guò)調(diào)查，市場(chǎng)家庭影院級(jí)別激光光源功率達(dá)百瓦級(jí)別，小口徑的振鏡很難承受如此大功率的激光；一方面為了匹配光學(xué)系統(tǒng)的尺寸要求，另一方面基于安全考慮，振鏡尺寸也應(yīng)擴(kuò)大至厘米級(jí)別。同樣的，在激光雷達(dá)中，為了得到高分辨率的掃描圖像，也需要大尺寸掃描振鏡。

目前研制出來(lái)的MEMS掃描鏡裝置大多口徑較小，無(wú)法滿足高分辨率成像的要求。而對(duì)于大尺寸MEMS振鏡，由于其自身質(zhì)量較大，所需的驅(qū)動(dòng)力也較大，但實(shí)裝置本身能夠提供的驅(qū)動(dòng)力很小，因此同樣無(wú)法應(yīng)用于大功率激光顯示。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的問(wèn)題，本發(fā)明的目的在于提供一種具有大驅(qū)動(dòng)力的掃描鏡裝置。

本發(fā)明提供了一種掃描鏡裝置，包括：基座；設(shè)置于所述基座中且彼此相對(duì)的第一凹槽和第二凹槽，所述第一凹槽和所述第二凹槽均用于容置電線圈；與所述基座相對(duì)設(shè)置的承載板，所述承載板中具有第一通孔；設(shè)置于所述第一通孔中的振鏡，所述振鏡的相對(duì)兩端分別與所述承載板活動(dòng)連接，所述振鏡能夠以其相對(duì)兩端之間的連線為軸線進(jìn)行偏轉(zhuǎn)；設(shè)置于所述振鏡一表面上的磁性體；其中，所述第一凹槽和所述第二凹槽之間的連線與所述振鏡的相對(duì)兩端之間的連線相交。

進(jìn)一步地，所述振鏡的另外相對(duì)兩端分別與所述承載板活動(dòng)連接，所述振鏡能夠以其另外相對(duì)兩端之間的連線為軸線進(jìn)行偏轉(zhuǎn)，所述振鏡的另外相對(duì)兩端之間的連線平行于所述第一凹槽和所述第二凹槽之間的連線。

進(jìn)一步地，所述基座中還設(shè)置有彼此相對(duì)的第三凹槽和第四凹槽，所述第三凹槽和所述第四凹槽均用于容置電線圈，所述第三凹槽和所述第四凹槽之間的連線平行于所述振鏡的相對(duì)兩端之間的連線。

進(jìn)一步地，所述第一凹槽和所述第二凹槽之間的連線垂直于所述振鏡的相對(duì)兩端之間的連線。

進(jìn)一步地，所述掃描鏡裝置還包括：設(shè)置于所述承載板與所述基座之間的第一墊板，所述第一墊板中具有第二通孔，所述第二通孔的直徑大于所述第一通孔的直徑，且所述第二通孔與所述第一通孔同軸。

進(jìn)一步地，所述掃描鏡裝置還包括：設(shè)置于所述承載板背向所述基座一側(cè)的第二墊板，所述第二墊板中具有第三通孔，所述第三通孔的直徑大于所述第一通孔的直徑，且所述第三通孔與所述第一通孔同軸。

進(jìn)一步地，所述掃描鏡裝置還包括：設(shè)置于所述第二墊板背向所述承載板一側(cè)的玻璃蓋板，所述玻璃蓋板用于密封所述振鏡。

進(jìn)一步地，所述振鏡與所述磁性體一體成型。

進(jìn)一步地，所述磁性體呈環(huán)形形狀。