[發明專利]一種檢測三氟化硼原料氣中氟化氫含量的方法及裝置在審
| 申請號： | 201610569041.1 | 申請日： | 2016-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN106248520A | 公開（公告）日： | 2016-12-21 |
| 發明（設計）人： | 金向華;宗立冬;夏致遠;孫猛;陳琦峰;周珽;曹文權;許軍州;唐璐 | 申請（專利權）人： | 蘇州金宏氣體股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N5/02 | 分類號： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 蘇州翔遠專利代理事務所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陸金星 |
| 地址： | 215152 江蘇省蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 檢測 氟化 原料 氟化氫 含量 方法 裝置 | ||
【說明書】：
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