[發明專利]一種使用雜質分解劑的有機氟氣體的提純方法有效
| 申請號： | 201610567093.5 | 申請日： | 2016-07-19 |
| 公開（公告）號： | CN106345264B | 公開（公告）日： | 2018-10-30 |
| 發明（設計）人： | 陳剛;葉向榮;張曉東;周井森;王寧;張廣第;陳立峰;李軍;鄭九麗 | 申請（專利權）人： | 浙江博瑞電子科技有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/81 | 分類號： | B01D53/81;C07C17/389;C07C19/08;C07C23/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 324004 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 使用 新型 雜質 分解 有機 氟氣 提純 方法 | ||
【權利要求書】：
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