[發明專利]一種槽柵VDMOS有效
| 申請號： | 201610565737.7 | 申請日： | 2016-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN106098779B | 公開（公告）日： | 2019-10-29 |
| 發明（設計）人： | 孫博韜;王立新;丁艷 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L29/08 |
| 代理公司： | 北京華沛德權律師事務所 11302 | 代理人： | 房德權 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 vdmos | ||
【說明書】：
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