[發明專利]循環氧化與蝕刻的設備及方法有效
| 申請號： | 201610565609.2 | 申請日： | 2011-03-10 |
| 公開（公告）號： | CN106057649B | 公開（公告）日： | 2019-10-01 |
| 發明（設計）人： | 烏陀衍·甘古利;約瑟夫·M·拉內什;阿倫·M·亨特;湯靜;克里斯托弗·S·奧爾森;馬修·D·斯科特奈伊-卡斯特;維基·阮;斯瓦米納坦·斯里尼瓦桑;約翰內斯·F·斯溫伯格;王安川;妮琴·K·英吉;馬尼施·赫姆卡;喬斯·A·馬林 | 申請（專利權）人： | 應用材料公司 |
| 主分類號： | H01L21/02 | 分類號： | H01L21/02;H01L21/67;H01L21/687;H01L21/762;H01L27/11521 |
| 代理公司： | 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 循環 氧化 蝕刻 設備 方法 | ||
【權利要求書】：
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H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
