[發明專利]自監控真空泄露的器件、制備方法、系統及自監控方法有效
| 申請號： | 201610564787.3 | 申請日： | 2016-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN106092332B | 公開（公告）日： | 2018-12-18 |
| 發明（設計）人： | 康曉旭 | 申請（專利權）人： | 上海集成電路研發中心有限公司 |
| 主分類號： | G01J5/10 | 分類號： | G01J5/10;G01M3/40 |
| 代理公司： | 上海天辰知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吳世華;張磊 |
| 地址： | 201210 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 監控 真空 泄露 器件 制備 方法 系統 | ||
【權利要求書】：
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