[發明專利]基于基準面對沉積過程控制的沉積模擬方法有效
| 申請號： | 201610557740.4 | 申請日： | 2016-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN106202749B | 公開（公告）日： | 2019-03-26 |
| 發明（設計）人： | 宋亞開;尹太舉;王冬冬;曽燦;李峰 | 申請（專利權）人： | 長江大學 |
| 主分類號： | G06F17/50 | 分類號： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 武漢開元知識產權代理有限公司 42104 | 代理人： | 馮超;陳家安 |
| 地址： | 430100 湖北省*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 基準 面對 沉積 過程 控制 模擬 方法 | ||
【說明書】：
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