[發(fā)明專利]一種氣氛可控多器件場效應(yīng)晶體管密封測試裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610557234.5 | 申請日： | 2016-07-15 |
| 公開（公告）號： | CN105973967B | 公開（公告）日： | 2018-06-15 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姚明水;徐剛 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院福建物質(zhì)結(jié)構(gòu)研究所 |
| 主分類號： | G01N27/414 | 分類號： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 北京藍(lán)智輝煌知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11345 | 代理人： | 陳紅;杜秀科 |
| 地址： | 350001 福建*** | 國省代碼： | 福建;35 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電極引出裝置 可控 場效應(yīng)晶體管 密封測試裝置 樣品臺 真空泵 電磁屏蔽功能 氣氛控制單元 測試單元 電流測量 多個器件 法拉第籠 濕度發(fā)生 數(shù)字源表 物理測試 性能表征 真空氣氛 裝置使用 標(biāo)準(zhǔn)氣 出氣管 電極線 進(jìn)氣管 真空表 質(zhì)子 配合 環(huán)繞 測量 精細(xì) 金屬 | ||
【說明書】：
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