[發(fā)明專利]半導(dǎo)體多晶化系統(tǒng)和對(duì)單晶半導(dǎo)體基板進(jìn)行多晶化的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610556752.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-07-14 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106087040B | 公開（公告）日： | 2018-07-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 嚴(yán)允晟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 京東方科技集團(tuán)股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01L21/02 | 分類號(hào)： | H01L21/02;H01L21/00;H01L21/84;C30B28/02;C30B33/02 |
| 代理公司： | 北京鼎佳達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11348 | 代理人： | 王偉鋒;劉鐵生 |
| 地址： | 100015 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體 多晶 系統(tǒng) 進(jìn)行 方法 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于京東方科技集團(tuán)股份有限公司，未經(jīng)京東方科技集團(tuán)股份有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610556752.5/2.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01 基本電氣元件
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
H01L 半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
- 請(qǐng)求沒有進(jìn)行IMS注冊(cè)的用戶進(jìn)行注冊(cè)的方法
- 對(duì)要進(jìn)行紋理操作的像素進(jìn)行分組
- 對(duì)餐盤進(jìn)行溫度調(diào)節(jié)和進(jìn)行分配的獨(dú)立小車
- 對(duì)圖像進(jìn)行編碼
- 對(duì)任務(wù)進(jìn)行調(diào)度
- 對(duì)任務(wù)進(jìn)行調(diào)度
- 蛋糕（甜蜜進(jìn)行時(shí)）
- 對(duì)定位輔助數(shù)據(jù)進(jìn)行分級(jí)和分組以進(jìn)行廣播
- 對(duì)物體進(jìn)行分離和定向以進(jìn)行供料
- 對(duì)工件進(jìn)行評(píng)價(jià)以進(jìn)行加工的方法
