[發(fā)明專利]一種角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)及該慢波結(jié)構(gòu)的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201610554462.7
• 申請(qǐng)日: 2016-07-14
• 公開（公告）號(hào): CN106206218B
• 公開（公告）日: 2018-03-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡軍;鄔顯平;李莉莉;馮進(jìn)軍;杜英華;潘攀
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第十二研究所
• 主分類號(hào): H01J23/26
• 分類號(hào): H01J23/26;H01J25/34
• 代理公司: 北京正理專利代理有限公司11257
• 代理人: 王喆,張文祎

1.一種角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述慢波結(jié)構(gòu)包括螺旋線、夾持桿和管殼；所述夾持桿的外側(cè)壁與所述管殼的內(nèi)側(cè)壁連接固定；

所述夾持桿中部分夾持桿的內(nèi)側(cè)壁與所述螺旋線之間通過(guò)金屬加載連接固定；所述夾持桿中其余部分夾持桿的內(nèi)側(cè)壁與所述螺旋線之間連接固定；

所述制備方法包括如下步驟：

S1、在螺旋線涂光刻膠；

S2、選取部分夾持桿，去除螺旋線上與所選取夾持桿的接觸區(qū)域的光刻膠；

S3、對(duì)所選取的夾持桿與金屬加載的有效接觸區(qū)域?qū)嵤﹫D形金屬化；

S4、利用微電鑄在螺旋線和夾持桿之間形成角向非對(duì)稱金屬加載，微電鑄后得到螺旋線、金屬加載和夾持桿的復(fù)合結(jié)構(gòu)；

S5、去除螺旋線上的剩余光刻膠；

S7、對(duì)管殼和上述已得到的螺旋線、金屬加載和夾持桿的復(fù)合結(jié)構(gòu)進(jìn)行夾持，連接管殼和夾持桿，得到角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述螺旋線位于所述慢波結(jié)構(gòu)的居中位置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，在與所述金屬加載相對(duì)應(yīng)連接的夾持桿的內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有通過(guò)曝光光刻并金屬化的第一金屬化鍍層，所述金屬加載與所述第一金屬化鍍層連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述金屬加載與其相對(duì)應(yīng)的經(jīng)過(guò)曝光光刻后的螺旋線壁面連接固定。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述夾持桿中其余部分夾持桿的內(nèi)側(cè)壁與其相對(duì)應(yīng)的經(jīng)過(guò)曝光光刻后的螺旋線壁面連接固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述方法進(jìn)一步的包括如下步驟：

S6、對(duì)未選取的其余部分夾持桿內(nèi)側(cè)壁上與螺旋線接觸面的有效接觸區(qū)域?qū)嵤﹫D形金屬化。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述步驟S3具體為：

S31、依據(jù)金屬加載的尺寸，對(duì)所選取的夾持桿進(jìn)行尺寸調(diào)整，保證螺旋線位于所述慢波結(jié)構(gòu)的居中位置；

S32、對(duì)所選取的夾持桿內(nèi)側(cè)壁上與金屬加載的有效接觸區(qū)域曝光光刻，并得到焊點(diǎn)圖形；

S33、圖形化后的上述有效接觸區(qū)域金屬化。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種角向非對(duì)稱螺旋線慢波結(jié)構(gòu)的制備方法，其特征在于，所述步驟S4具體為：利用定位模具保證曝光顯影后的螺旋線和所選取的圖形金屬化后的夾持桿的相對(duì)位置，利用微電鑄在螺旋線和夾持桿之間形成角向非對(duì)稱金屬加載，微電鑄后得到螺旋線、金屬加載和夾持桿的復(fù)合結(jié)構(gòu)。