[發(fā)明專利]電子級砷化氫、磷化氫及其混合氣體鋼瓶的鈍化處理裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610553688.5 | 申請日： | 2016-07-14 |
| 公開（公告）號： | CN106064807B | 公開（公告）日： | 2018-07-17 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 曾慶騰;許召文 | 申請（專利權(quán)）人： | 合肥正帆電子材料有限公司 |
| 主分類號： | C01B6/06 | 分類號： | C01B6/06;C01B25/06;C23C8/28 |
| 代理公司： | 杭州君度專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 王桂名 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 鋼瓶 回收氣體 開關(guān)閥 輸入管道 加熱腔 鈍化處理裝置 混合氣體鋼瓶 抽氣管道 加熱裝置 氣源鋼瓶 輸出管道 溫感控制 置換氣體 相通 抽風機 電子級 磷化氫 砷化氫 單元控制 鈍化處理 回抽裝置 冷凝裝置 冷凝腔 | ||
【說明書】：
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