[發(fā)明專利]一種配置IO通道的方法及半導(dǎo)體加工方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610552428.6
• 申請日: 2016-07-14
• 公開（公告）號: CN107621809B
• 公開（公告）日: 2020-01-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 尤艷艷
• 申請（專利權(quán)）人: 北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
• 主分類號: G05B19/418
• 分類號: G05B19/418
• 代理公司: 11112 北京天昊聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

本發(fā)明提供一種配置IO通道的方法，包括在上位機(jī)配置文件中增加字段以區(qū)別不同腔室所對應(yīng)的IO通道參數(shù)信息，從而提高了配置IO通道的靈活性。另外，本發(fā)明還提供一種半導(dǎo)體加工方法。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于微電子技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種通過配置文件靈活配置IO通道的方法及半導(dǎo)體加工方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體加工設(shè)備中存在大量的電氣設(shè)備，這些電氣設(shè)備需要借助模擬輸入和輸出通道(以下簡稱IO通道)進(jìn)行通信。例如，在刻蝕設(shè)備中，上位機(jī)需要通過不同的IO通道分別與各腔室進(jìn)行通信，以實(shí)現(xiàn)相應(yīng)的操作。通常各腔室對應(yīng)的IO通道的數(shù)量和量程范圍等信息都相同，因此，只要通過上位機(jī)中PMCDigiBoard.xml和TMCDigiBoard.xml配置文件即可對不同的IO通道進(jìn)行維護(hù)。然而，在實(shí)際應(yīng)用中，由于不同腔室需要執(zhí)行不同工藝，不同腔室所對應(yīng)的IO通道的數(shù)量和量程范圍等參數(shù)信息均存在較大差異，因此需要針對不同的腔室設(shè)定不同數(shù)量的IO通道以及對不同IO通道設(shè)置不同的量程范圍。但是，目前使用的半導(dǎo)體加工設(shè)備可配置性差，不能單獨(dú)針對某個(gè)腔室對應(yīng)的IO通道的數(shù)量、量程范圍進(jìn)行配置。

發(fā)明內(nèi)容

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種配置IO通道的方法，其可以提高IO通道的可配置性。

解決上述技術(shù)問題的所采用的技術(shù)方案是提供一種配置IO通道的方法，包括：

在上位機(jī)配置文件中增加字段，所述字段用以區(qū)別不同腔室對應(yīng)的IO通道參數(shù)信息。

其中，包括以下步驟：

步驟S1，根據(jù)用戶需求對下位機(jī)配置文件中所述不同腔室所對應(yīng)的IO通道參數(shù)信息進(jìn)行配置；

步驟S2，在上位機(jī)配置文件中增加字段以區(qū)別不同腔室所對應(yīng)的IO通道參數(shù)信息；

步驟S3，根據(jù)所述下位機(jī)配置文件對所述上位機(jī)配置文件中的所述IO通道參數(shù)信息進(jìn)行配置；

步驟S4，修改上位機(jī)代碼以滿足上位機(jī)的啟動(dòng)條件。

其中，在所述步驟S2和所述步驟S3之間還包括步驟：在所述上位機(jī)配置文件中，將屬于同一腔室的所述IO通道參數(shù)信息按模塊分類。

其中，所述模塊包括溫度模塊、腔室模塊、工藝氣體模塊、射頻電源模塊以及真空模塊。

其中，啟動(dòng)所述上位機(jī)，在用戶界面按照不同的所述腔室和不同的所述模塊分類加載所述上位機(jī)配置文件，同時(shí)讀取所述下位機(jī)配置文件中與之對應(yīng)的IO通道參數(shù)信息并將其加載到相應(yīng)的所述用戶界面。

其中，在所述用戶界面添加或刪除所述模塊以及修改所述IO通道參數(shù)信息。

另外，一種半導(dǎo)體加工方法，包括以下步驟：

步驟S20，按照本發(fā)明提供的配置IO通道的方法對上位機(jī)和下位機(jī)中對應(yīng)的各IO通道進(jìn)行配置；

步驟S21，在所述上位機(jī)上執(zhí)行通道控制程序；

步驟S22，所述通道控制程序檢測不同腔室是否連接，若否，則表示被檢測的腔室不可用；若是，則執(zhí)行步驟S23；

步驟S23，所述通道控制程序檢測上位機(jī)配置文件是否成功加載，若否，則拋出報(bào)警；若是，則執(zhí)行步驟S24；

步驟S24，根據(jù)所述上位機(jī)配置文件讀取下位機(jī)配置文件中對應(yīng)的IO通道參數(shù)信息，所述上位機(jī)配置文件中用字段區(qū)別不同腔室對應(yīng)的IO通道參數(shù)信息；

步驟S25，根據(jù)讀取到的所述IO通道參數(shù)信息初始化所述上位機(jī)的加載界面。

本發(fā)明具有以下有益效果：