[發明專利]一種監控方法、微電子加工方法及裝置

有效

• 申請號: 201610550444.1
• 申請日: 2016-07-13
• 公開（公告）號: CN107624038B
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 蘇運坤
• 申請（專利權）人: 北京北方華創微電子裝備有限公司
• 主分類號: H05K13/08
• 分類號: H05K13/08
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種監控方法，用于監控加熱部件的加熱能力，其特征在于，包括以下步驟：

步驟S1，采集當前輸出功率百分比下的加熱部件的輸出電流值；

步驟S2，判斷所述輸出電流值是否發生變化，若是，則執行步驟S3，若否，則返回步驟S1；

步驟S3，判斷所述當前輸出功率百分比下的輸出電流值的變化次數是否超出預設變化次數，若是，則執行步驟S4,若否，則返回步驟S1；

步驟S4，通過數據訂閱方式或計時器輪詢方式獲得所述當前輸出功率百分比下的標準電流值；

步驟S5，計算當前輸出功率百分比下的所述輸出電流值與所述標準電流值的差值；

步驟S6，判斷所述差值是否超出預設的電流容差范圍，若是，則執行步驟S7；若否，則返回步驟S1；

步驟S7，拋出報警。

2.根據權利要求1所述的監控方法，其特征在于，在步驟S4中，所述標準電流值通過以下步驟獲得：

步驟S41，判斷空閑輸出功能是否處于開啟狀態，若否，則執行步驟S43；若是，則執行步驟S42；

步驟S42，關閉所述空閑輸出功能；

步驟S43，關閉加熱部件；

步驟S44，清空原有標準電流值；

步驟S45，按照n％的所述輸出功率百分比間隔采集輸出電流值并生成新的標準電流值，其中，n為正整數。

3.根據權利要求2所述的監控方法，其特征在于，所述步驟S45包括：

步驟S451，開啟所述加熱部件并將輸出功率百分比的間隔設定為n％；

步驟S452，等待所述加熱部件穩定；

步驟S453，設定初始值i；

步驟S454，計算N＝i×n，獲得輸出功率百分比N％；

步驟S455，判斷所述輸出功率百分比N％是否小于100％，若是，則設定輸出功率百分比為N％，再執行步驟S456；若否，則生成完整輸出功率百分比下新的標準電流值，再執行步驟S4511；

步驟S456，等待所述加熱部件穩定；

步驟S457，判斷所述輸出功率百分比下采集的所述輸出電流值的數量是否達到M個，若否，則執行步驟S458；若是，則執行步驟S4510；其中，M為正整數；

步驟S458，采集所述輸出功率百分比下的輸出電流值；

步驟S459，等待采樣間隔T后返回步驟S457；

步驟S4510，計算所述輸出功率百分比下獲得的M個所述輸出電流值的平均值以獲得新的標準電流值，并使所述初始值i+1后返回步驟S454；

步驟S4511，關閉所述加熱部件。

4.根據權利要求2所述的監控方法，其特征在于，在步驟S41之前包括：設置所述空閑輸出功能的開啟條件。

5.根據權利要求2所述的監控方法，其特征在于，在步驟S45之后包括：

步驟S46，判斷是否需要開啟所述空閑輸出功能，若是，則開啟所述空閑輸出功能；若否，則結束。

6.根據權利要求1所述的監控方法，其特征在于，在步驟S7后包括：

步驟S8，維護所述加熱部件；

步驟S9，分析所述加熱部件的加熱能力。

7.根據權利要求6所述的監控方法，其特征在于，所述步驟S9包括：

步驟S91，判斷所述空閑輸出功能是否處于開啟狀態，若是，則執行步驟S92；若否，則執行步驟S93；

步驟S92，關閉所述空閑輸出功能；

步驟S93，關閉所述加熱部件；

步驟S94，將所述輸出功率百分比設置為0％；

步驟S95，按照n％的所述輸出功率百分比間隔采集輸出電流值，獲得完整輸出功率范圍內的分析電流值；

步驟S96，比較各輸出功率百分比下所述分析電流值和所述標準電流值，以獲得分析電流值相對于所述標準電流值增減的百分比。

8.根據權利要求1所述的監控方法，其特征在于，在步驟S96之后包括：

步驟S97，判斷是否開啟所述空閑輸出功能，若是，則開啟所述空閑輸出功能；若否，則結束。