[發明專利]混合式化學機械研磨修整器

有效

• 申請號: 201610550352.3
• 申請日: 2016-07-13
• 公開（公告）號: CN106607759B
• 公開（公告）日: 2018-09-11
• 發明（設計）人: 周瑞麟;邱家豐;陳裕泰;廖文仁;蘇學紳
• 申請（專利權）人: 中國砂輪企業股份有限公司
• 主分類號: B24B53/12
• 分類號: B24B53/12;B24B37/20
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006
• 代理人: 王玉雙;林媛媛

1.一種混合式化學機械研磨修整器，其特征在于包括：

一基座；

一第一研磨單元，是設置于該基座上，且包括固定于該基座上的一第一結合層、設置于該第一結合層上的一研磨單元基板以及設置于該研磨單元基板上的一研磨層，該研磨層是利用化學氣相沉積法所形成的一鉆石鍍膜，且該鉆石鍍膜表面具有多個研磨尖端；以及

多個第二研磨單元，是設置于該基座上，且包括固定于該基座上的一第二結合層、設置于該第二結合層上的一承載柱、設置于該承載柱上的一研磨顆粒以及設置于該承載柱和該研磨顆粒之間的一磨料結合層。

2.根據權利要求1所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該基座的表面具有一中心區域及一外環區域，該外環區域是環繞于該中心區域的外側。

3.根據權利要求2所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該中心區域具有供該第一研磨單元設置的一凹陷部，該外環區域具有相隔排列并容置該第二研磨單元的多個第一容置部。

4.根據權利要求2所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該中心區域具有相隔排列并容置該第二研磨單元的多個第二容置部，該外環區域具有供該第一研磨單元設置的一凹陷部。

5.根據權利要求2所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該中心區域及該外環區域具有供該第一研磨單元設置的一凹陷部，該基座還包括多個設置于該第一研磨單元并容置該第二研磨單元的多個第三容置部。

6.根據權利要求3所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該基座的表面更包括一內環區域，該內環區域是環繞于該中心區域的內側，且該內環區域具有相隔排列并容置該第二研磨單元的多個第四容置部。

7.根據權利要求3至6項任一項所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該些容置部為一貫通孔結構或一內凹孔結構。

8.根據權利要求2所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該中心區域具有供該第一研磨單元設置的一凹陷部。

9.根據權利要求1所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該基座為一平面基板。

10.根據權利要求1所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該第二研磨單元具有一圖案化排列，該圖案化排列選自于相同間距排列、不同間距排列、單圈環狀排列及多圈環狀排列所組成的群組。

11.根據權利要求1所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該些第二研磨單元的數量介于2至300之間。

12.根據權利要求1所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該研磨顆粒選自于人造鉆石、天然鉆石、多晶鉆石及立方氮化硼所組成的群組。

13.根據權利要求1所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該第一結合層、該第二結合層及該磨料結合層的組成選自于陶瓷材料、硬焊材料、電鍍材料、金屬材料及高分子材料所組成的群組。

14.根據權利要求13所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該硬焊材料選自于鐵、鈷、鎳、鉻、錳、硅、硼、碳及鋁所組成的群組。

15.根據權利要求13所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該高分子材料選自于環氧樹脂、聚脂樹脂、聚丙烯酸樹脂及酚醛樹脂所組成的群組。

16.根據權利要求1所述的混合式化學機械研磨修整器，其特征在于該基座和該承載柱的材質選自于不銹鋼、金屬材料、塑膠材料及陶瓷材料所組成的群組。