[發(fā)明專利]一種超聲外場作用下的TSV電鍍方法及系統(tǒng)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610548373.1 | 申請日： | 2016-07-13 |
| 公開（公告）號： | CN106011962A | 公開（公告）日： | 2016-10-12 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 王福亮;肖紅彬;王峰;李軍輝;王彥;朱文輝 | 申請（專利權(quán)）人： | 中南大學(xué) |
| 主分類號： | C25D5/20 | 分類號： | C25D5/20;C25D7/12;C25D21/12 |
| 代理公司： | 長沙市融智專利事務(wù)所 43114 | 代理人： | 楊萍 |
| 地址： | 410083 湖南*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 超聲 外場 作用 tsv 電鍍 方法 系統(tǒng) | ||
【說明書】：
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- TSV導(dǎo)電結(jié)構(gòu)、半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)及制備方法
- TSV測試方法及系統(tǒng)、設(shè)備及存儲介質(zhì)
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