[發(fā)明專利]一種可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置

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• 申請日: 2016-07-12
• 公開（公告）號: CN107611055A
• 公開（公告）日: 2018-01-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張爽;齊志崴
• 申請（專利權(quán)）人: 沈陽芯源微電子設(shè)備有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司21002
• 代理人: 白振宇

1.一種可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置，其特征在于：包括補液桶(1)、排氣通斷閥(7)、氣泡檢測傳感器(9)、緩沖罐(12)及供液泵(16)，其中補液桶(1)的上方分別開有進氣口(3)及補液口(5)，所述緩沖罐(12)的上方分別開有排氣口(10)及進液口(11)、下方開有出液口(14)，所述補液桶(1)的進氣口(3)通過進氣管(2)與廠務(wù)供氣管(20)相連，補液口(5)通過補液管(4)與所述緩沖罐(12)的進液口(11)相連通，所述補液管(4)位于緩沖罐(12)內(nèi)的一端為彎管，由該彎管流出的液體沿緩沖罐(12)的內(nèi)壁流入緩沖罐(12)內(nèi)部，所述緩沖罐(12)的排氣口(10)通過罐排氣管(8)與大氣相連，并在該罐排氣管(8)上分別安裝有排氣通斷閥(7)及氣泡檢測傳感器(9)，所述緩沖罐(12)的出液口(14)連通有輸出液體的供液管(17)，該供液管(17)上安裝有供液泵(16)。

2.按權(quán)利要求1所述可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置，其特征在于：所述進氣管(2)上安裝有三通切換閥(18)，該三通切換閥(18)的一個口與進氣管(2)相連，第二個口與所述廠務(wù)供氣管(20)相連，第三個口通過桶排氣管(19)與大氣相連。

3.按權(quán)利要求1所述可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置，其特征在于：所述補液管(4)的另一端由補液口(5)進入到補液桶(1)的內(nèi)部，并伸至所述補液桶(1)的底部。

4.按權(quán)利要求1所述可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置，其特征在于：在所述補液桶(1)與緩沖罐(12)之間的補液管(4)上安裝有過濾器(6)。

5.按權(quán)利要求1所述可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置，其特征在于：所述緩沖罐(12)上安裝有監(jiān)測其內(nèi)部液位的液位傳感器(13)。

6.按權(quán)利要求5所述可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置，其特征在于：所述液位傳感器(13)安裝在緩沖罐(12)罐體的外側(cè)壁上，位于罐體的中下部。

7.按權(quán)利要求1所述可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置，其特征在于：所述氣泡檢測傳感器(9)安裝在罐排氣管(8)的位置靠近所述排氣口(10)。

8.按權(quán)利要求1所述可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置，其特征在于：所述供液管(17)上安裝有液體檢測傳感器(15)。

9.按權(quán)利要求8所述可減少氣泡產(chǎn)生并具有自動排泡功能的管路供液裝置，其特征在于：所述液體檢測傳感器(15)安裝在供液管(17)的位置靠近所述出液口(14)。