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[發明專利]一種等離子體原位表征方法在審

專利信息
申請號: 201610546553.6 申請日: 2016-07-12
公開(公告)號: CN106053357A 公開(公告)日: 2016-10-26
發明(設計)人: 張婧;石寧;徐偉;孫峰;金滿平;朱云峰 申請(專利權)人: 中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司青島安全工程研究院
主分類號: G01N21/27 分類號: G01N21/27;G01N21/84;G01J5/00;G01N27/62;G01R13/02
代理公司: 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 代理人: 王連君
地址: 266071 山東*** 國省代碼: 山東;37
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 等離子體 原位 表征 方法
【權利要求書】:
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