[發明專利]一種等離子體原位表征方法在審
| 申請號: | 201610546553.6 | 申請日: | 2016-07-12 |
| 公開(公告)號: | CN106053357A | 公開(公告)日: | 2016-10-26 |
| 發明(設計)人: | 張婧;石寧;徐偉;孫峰;金滿平;朱云峰 | 申請(專利權)人: | 中國石油化工股份有限公司;中國石油化工股份有限公司青島安全工程研究院 |
| 主分類號: | G01N21/27 | 分類號: | G01N21/27;G01N21/84;G01J5/00;G01N27/62;G01R13/02 |
| 代理公司: | 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 | 代理人: | 王連君 |
| 地址: | 266071 山東*** | 國省代碼: | 山東;37 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 等離子體 原位 表征 方法 | ||
【權利要求書】:
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