[發(fā)明專利]一種大傾角微納結(jié)構(gòu)表面三維形貌測(cè)量的輔助裝置和方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610545687.6 | 申請(qǐng)日： | 2016-07-12 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN106247976B | 公開（公告）日： | 2020-04-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 胡搖;石蕊;郝群;陳卓;蔣曉黎 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 北京理工大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01B11/24 | 分類號(hào)： | G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 北京理工正陽(yáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11639 | 代理人： | 唐華 |
| 地址： | 100081 *** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 傾角 結(jié)構(gòu) 表面 三維 形貌 測(cè)量 輔助 裝置 方法 | ||
【說明書】：
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