[發明專利]一種基于超薄硫化物薄膜的濕度傳感器及其制備方法在審
| 申請號： | 201610544388.0 | 申請日： | 2016-07-12 |
| 公開（公告）號： | CN106248735A | 公開（公告）日： | 2016-12-21 |
| 發明（設計）人： | 李春;郭華陽;蘭長勇;王帥;何天應 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G01N27/00 | 分類號： | G01N27/00 |
| 代理公司： | 成都正華專利代理事務所(普通合伙)51229 | 代理人： | 李蕊 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 超薄 硫化物 薄膜 濕度 傳感器 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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