[發(fā)明專利]一種烘干燒結爐及烘干燒結方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610543723.5
• 申請日: 2016-07-09
• 公開（公告）號: CN106024984B
• 公開（公告）日: 2017-06-27
• 發(fā)明（設計）人: 蘇金財;冼志軍;王軍濤
• 申請（專利權）人: 東莞市科隆威自動化設備有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L21/67;F27B9/02;F27B9/06;F27B9/20;F27D17/00
• 代理公司: 廣東莞信律師事務所44332
• 代理人: 曾秋梅

1.一種烘干燒結爐，包括輸送臺，其特征在于，所述輸送臺的上平面設有輸送帶，所述輸送帶由單個馬達控制兩個棍輪帶動運輸，所述輸送臺由進料端至出料端依次設有硅片預熱區(qū)、廢氣物燃燒區(qū)、燒結區(qū)和硅片冷卻區(qū)，所述硅片預熱區(qū)內間隔設有多個烘干預熱爐，多個所述烘干預熱爐的溫度逐漸上升，所述廢氣物燃燒區(qū)內設有燃燒塔，所述燒結區(qū)內間隔設有多個密封的、并可以獨立控制溫度的第一燒結爐，多個第一燒結爐的溫度逐漸升高，所述硅片冷卻區(qū)內間隔設有多個吹風裝置和多個吸風裝置，所述輸送臺的前側或后側設有控制裝置。

2.根據權利要求1所述的烘干燒結爐，其特征在于，所述第一燒結爐包括可調節(jié)溫度的上爐膽和下爐膽，所述上爐膽和所述下爐膽鏡像對接，形成一個密封的硅片輸送燒結空間，在所述硅片輸送燒結空間內設有用于輸送硅片的輸送帶，所述上爐膽內設有用于加熱上爐膽溫區(qū)溫度的上加熱裝置和用于降低上爐膽溫區(qū)溫度的上降溫裝置，所述上爐膽內還設有用于感應控制所述上爐膽溫區(qū)溫度的上溫度感應控制組件，所述下爐膽內設有用于加熱下爐膽溫區(qū)溫度的下加熱裝置和用于降低下爐膽溫區(qū)溫度的下降溫裝置，所述下爐膽內還設有用于感應控制下爐膽溫區(qū)溫度的下溫度感應控制組件；所述上爐膽溫區(qū)的溫度與所述下爐膽溫區(qū)之間形成一個平衡穩(wěn)定的溫度差；所述上爐膽溫區(qū)的溫度與所述下爐膽溫區(qū)之間形成的溫度差為小于300℃。

3.根據權利要求2所述的烘干燒結爐，其特征在于，所述上加熱裝置包括至少一根橫向安裝在所述上爐膽溫區(qū)的上發(fā)熱管，所述上發(fā)熱管的電源連接線上設置有用于監(jiān)控上發(fā)熱管工作狀態(tài)的上監(jiān)控顯示器，所述上監(jiān)控顯示器不能顯示亮光時，表示所述上發(fā)熱管損壞，所述上發(fā)熱管從所述上爐膽溫區(qū)的位置取下更換；

所述上降溫裝置包括至少一根連通與所述上爐膽溫區(qū)的上吹風管道，所述上吹風管道的進氣口伸出所述上爐膽外，所述上吹風管道的吹風量由一流量控制器控制。

4.根據權利要求3所述的烘干燒結爐，其特征在于，所述上爐膽溫區(qū)內設有一呈U形的上透氣棉罩，所述上爐膽溫區(qū)的內側壁設有上實心保溫棉，所述上吹風管道出風口伸入所述上透氣棉罩內，所述上吹風管道輸送冷卻風時，由冷卻風充滿保溫棉與透氣棉之間的密閉空間，并形成一個密閉風腔，由于透氣棉是平面結構，因此冷卻風在風腔壓力下透過透氣棉后，會在爐膽內成為具有流向的平面冷卻風流，從而能對爐腔平衡降溫；

所述上溫度感應控制組件包括若干個上溫度熱電偶，所述上溫度熱電偶的感溫探頭伸入所述上爐膽溫區(qū)內，所述上溫度熱電偶與溫度控制器連接。

5.根據權利要求4所述的烘干燒結爐，其特征在于，所述下加熱裝置包括至少一根橫向安裝在所述下爐膽溫區(qū)的下發(fā)熱管，所述下發(fā)熱管的電源連接線上設置有用于監(jiān)控下發(fā)熱管工作狀態(tài)的下監(jiān)控顯示器，所述下監(jiān)控顯示器不能顯示亮光時，表示所述下發(fā)熱管損壞，所述下發(fā)熱管從所述下爐膽溫區(qū)的位置取下更換；

所述下降溫裝置包括至少一根連通與所述下爐膽溫區(qū)的下吹風管道，所述下吹風管道的進氣口伸出所述下爐膽外，所述下吹風管道的吹風量由一流量控制器控制。

6.根據權利要求5所述的烘干燒結爐，其特征在于，所述所述下爐膽溫區(qū)內設有一呈U形的下透氣棉罩，所述下爐膽溫區(qū)的內側壁設有下實心保溫棉，所述下吹風管道出風口伸入所述下透氣棉罩內，所述下吹風管道輸送冷卻風時，由冷卻風充滿保溫棉與透氣棉之間的密閉空間，并形成一個密閉風腔，由于透氣棉是平面結構，因此冷卻風在風腔壓力下透過透氣棉后，會在爐膽內成為具有流向的平面冷卻風流，從而能對爐腔平衡降溫；

所述下溫度感應控制組件包括若干個下溫度熱電偶，所述下溫度熱電偶的感溫探頭伸入所述下爐膽溫區(qū)內，所述下溫度熱電偶與溫度控制器連接。

7.根據權利要求1所述的烘干燒結爐，其特征在于，所述燃燒塔包括一燃燒箱體，所述燃燒箱體的空腔內由下至上依次設有可以增長燃燒時間的燃燒空腔、用于集聚燃燒氣體的燃燒氣體集中空腔和用于將燃燒后的氣體降溫的降溫空腔，所述燃燒箱體的前側或后側設有用于控制所述燃燒箱體的溫度的控制箱，所述燃燒箱體的空腔側壁上設有保溫棉；所述燃燒空腔與所述燃燒氣體集中空腔通過一隔板隔開，所述隔板上間隔設有多個透氣孔。