[發(fā)明專利]晶片電鍍卡盤組件有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610542720.X | 申請日： | 2016-07-11 |
| 公開（公告）號： | CN106337198B | 公開（公告）日： | 2019-06-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 蘭迪·A·哈里斯;邁克爾·溫德姆 | 申請（專利權(quán)）人： | 應(yīng)用材料公司 |
| 主分類號： | C25D7/12 | 分類號： | C25D7/12;C25D17/08 |
| 代理公司： | 北京律誠同業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金國;趙靜 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 晶片 電鍍 卡盤 組件 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于應(yīng)用材料公司，未經(jīng)應(yīng)用材料公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610542720.X/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
