[發明專利]一種宏微結合驅動的陣列式光柵拼接調整裝置

有效

• 申請號: 201610541867.7
• 申請日: 2016-07-11
• 公開（公告）號: CN105929516B
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: 劉海濤;孫雅洲;張錦陽;解文坤;于福利;盧禮華;張慶春;趙航
• 申請（專利權）人: 哈爾濱工業大學
• 主分類號: G02B7/00
• 分類號: G02B7/00
• 代理公司: 哈爾濱龍科專利代理有限公司23206
• 代理人: 高媛

1.一種宏微結合驅動的陣列式光柵拼接調整裝置，包括底座(13)、四個微動組件、四個過渡連接板、四個宏動驅動組件、多個光柵壓塊以及由四個光柵組成的拼接光柵；

所述的四個微動組件分別是微動組件一(1)、微動組件二(2)、微動組件三(3)及微動組件四(4)；所述的四個宏動驅動組件結構均相同，分別是宏動驅動組件一(14)、宏動驅動組件二(15)、宏動驅動組件三(16)及宏動驅動組件四(17)；

所述的微動組件一(1)與微動組件三(3)結構相同，所述的微動組件二(2)與微動組件四(4)結構相同，微動組件一(1)與微動組件二(2)相對于YZ面對稱設置，微動組件一(1)與微動組件二(2)分別通過各自中的兩個滾動導軌組件與底座(13)的上表面固接，底座(13)的中部設有回字形槽，所述的回字形槽的槽口朝前設置，所述的微動組件三(3)和微動組件四(4)分別通過各自中的兩個滾動導軌組件與底座(13)的回字形槽的下表面(51)固接，微動組件三(3)與微動組件一(1)呈對角線設置，微動組件四(4)與微動組件二(2)呈對角線設置，所述的宏動驅動組件一(14)與宏動驅動組件二(15)分別通過各自中的宏動基座(28)與底座(13)的上表面固接，宏動驅動組件一(14)通過其上的滾珠絲杠螺母柔性連接板(29)與微動組件一(1)固接，所述的宏動驅動組件二(15)通過其上的滾珠絲杠螺母柔性連接板(29)與微動組件二(2)固接，所述的宏動驅動組件三(16)設置在宏動驅動組件一(14)的下方，所述的宏動驅動組件四(17)設置在宏動驅動組件二(15)的下方，底座(13)的回字形槽的槽底面的下部設有兩個安裝孔，宏動驅動組件三(16)和宏動驅動組件四(17)分別通過各自中的宏動基座(28)與底座(13)的兩個安裝孔固接，宏動驅動組件三(16)通過其上的滾珠絲杠螺母柔性連接板(29)與微動組件三(3)固接，宏動驅動組件四(17)通過其上的滾珠絲杠螺母柔性連接板(29)與微動組件四(4)固接，所述的四個過渡連接板與四個微動組件中的過渡框(46)一一對應設置且分別固接，每個過渡連接板的前側均設置有一個光柵，所述的四個光柵分別與多個光柵壓塊固接，與每個光柵固接的多個光柵壓塊分別通過多個連接螺釘與對應的過渡連接板可拆卸固定連接。

2.根據權利要求1所述的一種宏微結合驅動的陣列式光柵拼接調整裝置，其特征在于：所述的微動組件一(1)及微動組件三(3)均包括承重導軌組件(18)、微動支撐框(21)、過渡框(46)、五個壓電陶瓷驅動組件、兩個柔性連接軸及兩個滾動導軌組件；所述的五個壓電陶瓷驅動組件結構相同，五個壓電陶瓷驅動組件分別是壓電陶瓷驅動組件一(30)、壓電陶瓷驅動組件二(31)、壓電陶瓷驅動組件三(32)、壓電陶瓷驅動組件四(33)及壓電陶瓷驅動組件五(34)；所述的兩個柔性連接軸結構相同，兩個柔性連接軸分別是柔性連接軸一(35)及柔性連接軸二(36)；所述的兩個滾動導軌組件結構相同；

所述的微動支撐框(21)為半封閉型，微動支撐框(21)的底面與兩個滾動導軌組件的滑塊固接，完成宏動的支撐和導向；所述的宏動驅動組件一(14)通過其上的滾珠絲杠螺母柔性連接板(29)與微動支撐框(21)的后表面固接；所述的壓電陶瓷驅動組件一(30)、壓電陶瓷驅動組件二(31)、壓電陶瓷驅動組件三(32)、壓電陶瓷驅動組件四(33)、壓電陶瓷驅動組件五(34)、柔性連接軸一(35)及柔性連接軸二(36)均設置在微動支撐框(21)的半封閉腔內，壓電陶瓷驅動組件一(30)、壓電陶瓷驅動組件三(32)及壓電陶瓷驅動組件四(33)均沿Y軸方向設置，壓電陶瓷驅動組件一(30)、壓電陶瓷驅動組件三(32)及壓電陶瓷驅動組件四(33)的前端均與微動支撐框(21)的內表面固接；所述的壓電陶瓷驅動組件二(31)及壓電陶瓷驅動組件五(34)均沿X軸方向設置，壓電陶瓷驅動組件二(31)的前端與柔性連接軸二(36)的后端固接，所述的柔性連接軸二(36)的前端與微動支撐框(21)的內表面固接，所述的壓電陶瓷驅動組件五(34)的前端與柔性連接軸一(35)的后端固接，所述的柔性連接軸一(35)的前端與微動支撐框(21)的內表面固接；壓電陶瓷驅動組件二(31)及壓電陶瓷驅動組件五(34)的側面均與過渡框(46)固接，壓電陶瓷驅動組件一(30)、壓電陶瓷驅動組件三(32)及壓電陶瓷驅動組件四(33)的后端均與過渡框(46)固接；所述的承重導軌組件(18)中的承重部件底座(43)與微動支撐框(21)的半封閉腔內的底面固接，壓電陶瓷驅動組件一(30)、壓電陶瓷驅動組件三(32)及壓電陶瓷驅動組件四(33)實現拼接光柵沿Y軸平動、繞X軸轉動及繞Z軸轉動，壓電陶瓷驅動組件二(31)及壓電陶瓷驅動組件五(34)實現拼接光柵沿X軸平動及繞Y軸轉動。