[發明專利]薄膜晶體管、陣列基板及其制備方法有效
| 申請號： | 201610538743.3 | 申請日： | 2016-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN106158978B | 公開（公告）日： | 2019-05-21 |
| 發明（設計）人： | 秦芳 | 申請（專利權）人： | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L29/24;H01L29/06;H01L27/12 |
| 代理公司： | 深圳市銘粵知識產權代理有限公司 44304 | 代理人： | 孫偉峰;黃進 |
| 地址： | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 薄膜晶體管 陣列 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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