[發明專利]激光切割裝置

在審

• 申請號: 201610537743.1
• 申請日: 2016-07-08
• 公開（公告）號: CN107584209A
• 公開（公告）日: 2018-01-16
• 發明（設計）人: 朱海彬;李曉虎;王路
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: B23K26/142
• 分類號: B23K26/142;B23K26/38;B23K26/70
• 代理公司: 北京市中咨律師事務所11247
• 代理人: 李崢,吳鵬

技術領域

本發明涉及激光切割領域，更具體地，涉及一種激光切割裝置。

背景技術

薄膜產品在制作后一般需要進行分割處理才會得到所需的后續產品，目前多采用激光切割加工方法對薄膜產品進行分割。柔性薄膜材料(以下也簡稱膜材)在激光切割過程中，部分材料會以氣化煙塵的形式逸出，部分材料會作為燃熔飛渣從切割線迸濺噴出，造成切割線周邊產生大量污染顆粒。這些污染顆粒若不及時除去，遇到膜材表面就會即刻沉積造成大片難以去除干凈的污染斑痕，從而對薄膜產品(例如柔性OLED有機發光半導體)的后續制作工藝產生嚴重不良影響，降低生產良率。

現有的激光切割裝置為有效去除激光切割過程產生的污染顆粒，通常在供激光束穿過的主體上配置有高壓氣體吹除裝置和上吸式集塵罩。高壓氣體吹除裝置的吹氣管與高壓氣體源連通，并與激光束同軸設置。吹氣管吹出的高壓氣體垂直吹向切割點，以不斷地帶走激光切割時產生的高熱量。上吸式集塵罩包括多個與負壓系統連通的吸氣口，多個吸氣口以激光束為中心呈環形布局，以快速將高壓氣體及污染顆粒吸走，實現循環降溫和降低污染的作用。這種激光切割裝置適合應用于金屬材料等熔融型切割，但對于柔性膜材而言，高壓吹氣管內氣體垂直吹向切割點時，會使柔性膜材在載臺上的吸附孔處因受高壓氣體作用而向下凹陷并脫離焦點，造成切割線熱影響區變寬甚至無法切開膜材的現象。另外，繞激光束環形布局的多個吸氣口在吸氣過程中會將高速噴射出的氣化煙塵和燃熔飛渣導向切割線兩側后吸除，這種導向方式很容易引起膜材的切割線兩側區域的污染。另外，上吸式集塵罩對氣化煙塵的吸除效果較差，若為了加強吸除效果而過度增加集塵罩內真空度，又會造成載臺上的膜材被吸附翹曲而脫離焦點，造成膜材不能順利被分割。

因此，對于應用于光電子、顯示、半導體等行業的柔性薄膜材料而言，亟需一種在激光切割過程中，既能保證切割效果又能有效降低膜材切割線兩側區域污染的激光切割除塵凈化裝置。

發明內容

本發明旨在提供一種激光切割裝置，以解決現有技術中存在的上述技術問題中的至少一個。

本發明提供的激光切割裝置，包括：主體，中部具有供激光束穿過的通道；通道具有中心線；轉盤，可繞中心線轉動地套設于主體的外部；相對于中心線傾斜布置的吹氣管；吹氣管安裝至轉盤上，并位于中心線的一側；吸氣管，安裝至轉盤上，并位于中心線的與吹氣管相對的另一側。

進一步地，由吹氣管吹出的氣體為惰性氣體，并且/或者，吹氣管的吹氣口對準激光束與被切割材料相交形成的切割點；并且/或者，吸氣管的吸氣口對準切割點。

進一步地，該激光切割裝置還包括：用于驅動轉盤轉動的驅動裝置，以及與驅動裝置通信連接的控制器，控制器用于根據預設的切割路線控制驅動裝置動作。

進一步地，驅動裝置包括：安裝至轉盤上的減速電機；安裝在減速電機的輸出軸上的第一齒輪，安裝于主體上并與第一齒輪嚙合配合的第二齒輪。

進一步地，吹氣管通過與中心線平行的進氣管與轉盤連接；并且/或者，吸氣管通過與中心線平行的排氣管與轉盤連接。

進一步地，吹氣管與進氣管之間設置有角度調節裝置。

進一步地，沿激光束的切割運動方向，吹氣管位于切割運動方向的下游，吸氣管位于切割運動方向的上游。

進一步地，吹氣管的吹氣口處設置金屬探針，金屬探針通過導線與電源連接。

進一步地，吹氣管的吹氣口處設置有多個向外伸出的支架，支架的外端安裝有支撐套，金屬探針穿設在支撐套的中心孔中。

進一步地，吹氣管內氣壓的絕對值小于吸氣管內氣壓的絕對值，并且/或者，吹氣管的吹氣口的口徑小于吸氣管的吸氣口的口徑。

本發明提供的激光切割裝置，在切割膜材時，通過轉動轉盤，可以使布置于激光束通道中心線的相對兩側的吹氣管和吸氣管之間的吹吸氣流總能沿切割線方向流動，沿切割線方向流動的吹吸氣流對切割過程產生的氣化煙塵及燃熔飛渣起到強制導向作用，使得氣化煙塵及燃熔飛渣沿切割線方向導入到吸氣管內，有效減少了切割過程產生的污染顆粒對膜材切割線兩側區域的污染，克服了現有技術的激光切割裝置因吹吸氣流導向原因所造成的膜材切割線兩側區域污染的問題。另外，傾斜布置的吹氣管使高壓氣體從側面吹向激光束的切割區域，相對于現有技術中與激光束同軸布置的吹氣管來說，可以減少膜材因垂直受力所造成的凹陷變形、脫離焦點的現象，保證膜材能順利被切割。

附圖說明

下文將參考附圖進一步描述本發明的實施例，在附圖中：

圖1示出了本發明實施例提供的一種激光切割裝置工作狀態的立體示意圖；