[發明專利]一種自動測量厚度的LED芯片光刻機在審
| 申請號： | 201610532935.3 | 申請日： | 2016-07-08 |
| 公開（公告）號： | CN105929640A | 公開（公告）日： | 2016-09-07 |
| 發明（設計）人： | 肖和平;孫如劍;郭冠軍;王宇;馬祥柱 | 申請（專利權）人： | 揚州乾照光電有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 揚州市錦江專利事務所 32106 | 代理人： | 江平 |
| 地址： | 225009 *** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 自動 測量 厚度 led 芯片 光刻 | ||
【權利要求書】：
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