[發明專利]懸掛型可見光及近紅外波段硅基光波導集成光電探測器有效
| 申請號： | 201610532895.2 | 申請日： | 2016-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN106024921B | 公開（公告）日： | 2017-09-15 |
| 發明（設計）人： | 戴道鋅;李晨蕾 | 申請（專利權）人： | 浙江大學 |
| 主分類號： | H01L31/0232 | 分類號： | H01L31/0232;H01L31/09;H01L31/18 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司33200 | 代理人： | 林超 |
| 地址： | 310027 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 懸掛 可見光 紅外 波段 硅基光 波導 集成 光電 探測器 | ||
1.一種懸掛型可見光及近紅外波段硅基光波導集成光電探測器，其特征在于：包括無源輸入光波導(1)和有源光吸收區域(2)，其中：無源輸入光波導(1)包括第一硅襯底(11)以及從下到上依次層疊在第一硅襯底(11)上的波導下包層(12)和芯層條形型波導(13)；有源光吸收區域(2)包括第二硅襯底(21)以及直接覆于第二硅襯底(21)上的懸掛波導(22)、輸出波導(23)和金屬電極(24)，懸掛波導(22)和輸出波導(23)均沿芯層條形型波導(13)方向延伸布置，懸掛波導(22)連接在芯層條形型波導(13)和輸出波導(23)之間，金屬電極(24)位于輸出波導(23)的兩側方。
2.根據權利要求1所述的一種懸掛型可見光及近紅外波段硅基光波導集成光電探測器，其特征在于：所述的波導下包層(12)、芯層條形型波導(13)、懸掛波導(22)和輸出波導(23)均為不同于第一硅襯底(11)和第二硅襯底(21)的材料且為在硅材料吸收波段具有透明特性的光學材料。
3.根據權利要求1所述的一種懸掛型可見光及近紅外波段硅基光波導集成光電探測器，其特征在于：所述的懸掛波導(22)和輸出波導(23)是由襯底-包層-波導結構通過對包層進行腐蝕形成所述波導結構。
4.根據權利要求1所述的一種懸掛型可見光及近紅外波段硅基光波導集成光電探測器，其特征在于：所述無源輸入光波導(1)和所述有源光吸收區域(2)采用單片集成制作。
5.根據權利要求1或4所述的一種懸掛型可見光及近紅外波段硅基光波導集成光電探測器，其特征在于：所述無源輸入光波導(1)中的芯層條形波導(13)和所述有源光吸收區域(2)的輸出波導(23)為同一材料，采用單片集成制作。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于浙江大學，未經浙江大學許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610532895.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L31-00 對紅外輻射、光、較短波長的電磁輻射，或微粒輻射敏感的，并且專門適用于把這樣的輻射能轉換為電能的，或者專門適用于通過這樣的輻射進行電能控制的半導體器件；專門適用于制造或處理這些半導體器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半導體本體為特征的
H01L31-04 .用作轉換器件的
H01L31-08 .其中的輻射控制通過該器件的電流的，例如光敏電阻器
H01L31-12 .與如在一個共用襯底內或其上形成的，一個或多個電光源，如場致發光光源在結構上相連的，并與其電光源在電氣上或光學上相耦合的
