[發明專利]加速度傳感器及其制造方法

有效

• 申請號: 201610532843.5
• 申請日: 2016-07-07
• 公開（公告）號: CN106872729B
• 公開（公告）日: 2020-04-24
• 發明（設計）人: 李熙元
• 申請（專利權）人: 現代自動車株式會社
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 龍淳;彭益群

1.一種加速度傳感器，包括：

移動電極，其包括在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向中的至少一個方向上延伸、并彼此連接的多個平面圖案；以及

與所述移動電極形成電容的對置電極，

其中，所述多個平面圖案包括：

第一框架圖案；

將所述移動電極固定到周圍結構的第一錨固件圖案；

第一彈簧圖案，其連接所述第一框架圖案和所述第一錨固件圖案，并且拉伸方向為所述第一方向；

第二彈簧圖案，其連接所述第一框架圖案和所述第一錨固件圖案，并且拉伸方向為所述第二方向；

翼形件圖案；以及

第三彈簧圖案，其連接所述第一框架圖案和所述翼形件圖案，并且拉伸方向為與所述第一方向和第二方向垂直的第三方向，并且

加速度是根據所述電容的變化測量的。

2.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其中：

所述對置電極為多個，

所述對置電極根據所述第一方向、第二方向和第三方向中的測量目標方向而選擇，并且

所述測量目標方向的加速度根據所選對置電極和所述移動電極之間的電容的變化來測量。

3.根據權利要求1所述的加速度傳感器，其中，所述第三彈簧圖案具有包圍所述翼形件圖案的外部的形狀。

4.根據權利要求3所述的加速度傳感器，其中，所述第三彈簧圖案與所述翼形件圖案的中心連接。

5.根據權利要求4所述的加速度傳感器，其中，所述第一框架圖案在所述第一方向上與所述第一彈簧圖案連接，并在所述第二方向上與所述第二彈簧圖案連接。

6.根據權利要求5所述的加速度傳感器，其中：

所述第一錨固件圖案和所述第一框架圖案為多個，并且

第一錨固件圖案位于兩個相鄰第一框架圖案之間。

7.根據權利要求6所述的加速度傳感器，其中，所述多個平面圖案還包括：

將所述移動電極固定到所述周圍結構的第二錨固件圖案；

第二框架圖案，其位于所述第二錨固件圖案和對應于所述第二錨固件圖案的所述第一錨固件圖案之間；

連接所述第一錨固件圖案和所述第二框架圖案的第四彈簧圖案；以及

連接所述第二框架圖案和所述第二錨固件圖案的第五彈簧圖案。

8.根據權利要求7所述的加速度傳感器，其中，所述第二框架圖案包括多個梳齒電極。

9.根據權利要求8所述的加速度傳感器，其中，所述多個梳齒電極在與連接所述第一錨固件圖案和所述第二錨固件圖案的方向垂直的方向上延伸。

10.根據權利要求9所述的加速度傳感器，其中，所述多個平面圖案具有相同的材料成分。

11.一種用于制造加速度傳感器的方法，包括以下步驟：

形成平面電極層；以及

通過使用一個掩模，將所述平面電極層圖案化以形成移動電極，

其中，所述移動電極包括在第一方向和垂直于所述第一方向的第二方向中的至少一個方向上延伸、并彼此連接的多個平面圖案，并且

其中，所述多個平面圖案包括：

第一框架圖案；

將所述移動電極固定到周圍結構的第一錨固件圖案；

第一彈簧圖案，其連接所述第一框架圖案和所述第一錨固件圖案，并且拉伸方向為所述第一方向；

第二彈簧圖案，其連接所述第一框架圖案和所述第一錨固件圖案，并且拉伸方向為所述第二方向；

翼形件圖案；以及

第三彈簧圖案，其連接所述第一框架圖案和所述翼形件圖案，并且拉伸方向為與所述第一方向和第二方向垂直的第三方向。

12.根據權利要求11所述的方法，其中，在形成所述移動電極的步驟中，一起形成與所述移動電極形成電容的對置電極。