[發明專利]一種光柵微小位移檢測裝置在審
| 申請號： | 201610532827.6 | 申請日： | 2016-07-04 |
| 公開（公告）號： | CN105937880A | 公開（公告）日： | 2016-09-14 |
| 發明（設計）人： | 丁世劍 | 申請（專利權）人： | 武漢卓海青晨科技有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京輕創知識產權代理有限公司 11212 | 代理人： | 談杰 |
| 地址： | 430074 湖北省武漢市東湖新技*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光柵 微小 位移 檢測 裝置 | ||
【權利要求書】：
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