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[發明專利]一種基于白光干涉標定PZT位移量的方法在審

專利信息
申請號: 201610528812.2 申請日: 2016-07-06
公開(公告)號: CN106225679A 公開(公告)日: 2016-12-14
發明(設計)人: 馬駿;王朕;朱日宏 申請(專利權)人: 南京理工大學
主分類號: G01B11/02 分類號: G01B11/02
代理公司: 南京理工大學專利中心32203 代理人: 朱沉雁
地址: 210094 江*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 基于 白光 干涉 標定 pzt 位移 方法
【說明書】:
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