[發(fā)明專利]半導(dǎo)體硅片清洗液及生產(chǎn)方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610526209.0 | 申請日： | 2016-07-06 |
| 公開（公告）號： | CN106190615A | 公開（公告）日： | 2016-12-07 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 楊同勇;李文瀚 | 申請（專利權(quán)）人： | 三達(dá)奧克化學(xué)股份有限公司 |
| 主分類號： | C11D1/72 | 分類號： | C11D1/72;C11D3/60;C11D3/48;C11D3/34;C11D3/33;C11D3/20;C11D3/04 |
| 代理公司： | 大連非凡專利事務(wù)所 21220 | 代理人： | 閃紅霞 |
| 地址： | 116023 遼寧省*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 半導(dǎo)體 硅片 清洗 生產(chǎn) 方法 | ||
【說明書】：
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