[發明專利]一種薄膜傳感器用復合絕緣層及其制備方法有效
| 申請號： | 201610524876.5 | 申請日： | 2016-07-04 |
| 公開（公告）號： | CN105970168B | 公開（公告）日： | 2018-07-27 |
| 發明（設計）人： | 趙曉輝;李海濤;蔣洪川;張萬里 | 申請（專利權）人： | 電子科技大學;東莞電子科技大學電子信息工程研究院 |
| 主分類號： | C23C14/34 | 分類號： | C23C14/34;C23C14/30;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/58;G01D21/02 |
| 代理公司： | 電子科技大學專利中心 51203 | 代理人： | 吳姍霖 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 薄膜 傳感 器用 復合 絕緣 及其 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
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