[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體生產(chǎn)線閉環(huán)調(diào)度控制方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610520300.1 | 申請(qǐng)日： | 2016-07-05 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN106444649B | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-01-11 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 馬玉敏;喬非;吳啟迪;吳文靖 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 同濟(jì)大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G05B19/418 | 分類號(hào)： | G05B19/418 |
| 代理公司： | 上海科盛知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31225 | 代理人： | 翁惠瑜 |
| 地址： | 200092 *** | 國(guó)省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說(shuō)明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 半導(dǎo)體 生產(chǎn)線 閉環(huán) 調(diào)度 控制 方法 | ||
【說(shuō)明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于同濟(jì)大學(xué)，未經(jīng)同濟(jì)大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610520300.1/2.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 針灸針自動(dòng)插片包裝機(jī)的傳送機(jī)構(gòu)
- 針灸針自動(dòng)插片包裝機(jī)的傳送機(jī)構(gòu)
- 一種用于轉(zhuǎn)臺(tái)的分層虛閉環(huán)控制方法及系統(tǒng)
- 熱水器水閥零部件裝配機(jī)的封閉環(huán)裝配機(jī)構(gòu)
- 一種聚光太陽(yáng)能組件專用閉環(huán)彈簧
- 一種聚光光伏組件專用閉環(huán)彈簧
- 熱水器水閥零部件裝配機(jī)的封閉環(huán)裝配機(jī)構(gòu)
- 網(wǎng)絡(luò)調(diào)整沖突解決方法、設(shè)備及系統(tǒng)
- 一種自適應(yīng)無(wú)功功率閉環(huán)調(diào)節(jié)方法及系統(tǒng)
- 一種驅(qū)動(dòng)控制裝置、控制方法及礦井運(yùn)輸車
- 旅游車輛調(diào)度監(jiān)控方法及其系統(tǒng)
- 一種用戶隊(duì)列調(diào)度的方法和裝置
- 一種資源調(diào)度的方法、裝置和過(guò)濾式調(diào)度器
- 一種調(diào)度方法和裝置
- 一種調(diào)度終端動(dòng)態(tài)切換調(diào)度組歸屬關(guān)系的方法及裝置
- 用戶調(diào)度方法、裝置、基站和存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種食材的調(diào)度系統(tǒng)和方法
- 一種資源調(diào)度的方法、裝置和過(guò)濾式調(diào)度器
- 任務(wù)調(diào)度方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種自動(dòng)化調(diào)度系統(tǒng)和調(diào)度方法
