[發明專利]荷電粒子束裝置、試樣觀察系統有效
| 申請號： | 201610517840.4 | 申請日： | 2013-03-15 |
| 公開（公告）號： | CN106158567B | 公開（公告）日： | 2017-12-15 |
| 發明（設計）人： | 小西彌生;佐藤貢;高野昌樹;玉山尚太朗;西村雅子;渡邊俊哉;許斐麻美 | 申請（專利權）人： | 株式會社日立高新技術 |
| 主分類號： | H01J37/22 | 分類號： | H01J37/22;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京銀龍知識產權代理有限公司11243 | 代理人： | 范勝杰,文志 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 粒子束 裝置 試樣 觀察 系統 | ||
1.一種荷電粒子束裝置，其特征在于，
具備控制荷電粒子束裝置的處理部，該荷電粒子束裝置通過對試樣照射一次電子束，取得與上述試樣相關的信息，
上述處理部使圖像顯示部顯示表示當前的上述一次電子束的照射狀態的圖，
上述處理部在上述圖像顯示部中顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖，并且顯示表示當前的進度狀況的畫面。
2.根據權利要求1所述的荷電粒子束裝置，其特征在于，
上述處理部當開始照射上述一次電子束時，在上述圖像顯示部中顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖。
3.根據權利要求1所述的荷電粒子束裝置，其特征在于，
上述處理部在上述圖像顯示部中顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖，并且顯示表示上述荷電粒子束裝置的當前的動作狀態的畫面。
4.根據權利要求2所述的荷電粒子束裝置，其特征在于，
上述處理部在上述圖像顯示部中顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖，并且顯示表示上述荷電粒子束裝置的當前的動作狀態的畫面。
5.根據權利要求1所述的荷電粒子束裝置，其特征在于，
上述處理部在上述圖像顯示部中顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖，并且顯示與上述荷電粒子束裝置的操作中的參數的設定值有關的信息。
6.根據權利要求2所述的荷電粒子束裝置，其特征在于，
上述處理部在上述圖像顯示部中顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖，并且顯示與上述荷電粒子束裝置的操作中的參數的設定值有關的信息。
7.根據權利要求3所述的荷電粒子束裝置，其特征在于，
上述處理部在上述圖像顯示部中顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖，并且顯示與上述荷電粒子束裝置的操作中的參數的設定值有關的信息。
8.根據權利要求4所述的荷電粒子束裝置，其特征在于，
上述處理部在上述圖像顯示部中顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖，并且顯示與上述荷電粒子束裝置的操作中的參數的設定值有關的信息。
9.根據權利要求1至8中的任意一項所述的荷電粒子束裝置，其特征在于，
在使到目前為止顯示的操作畫面為不激活之后顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖。
10.一種試樣觀察系統，其具有荷電粒子束裝置和控制上述荷電粒子束裝置的計算機，其特征在于，
上述計算機具有控制荷電粒子束裝置的處理部，該荷電粒子束裝置通過對試樣照射一次電子束，取得與上述試樣相關的信息，
上述處理部使圖像顯示部顯示表示當前的上述一次電子束的照射狀態的圖，
上述處理部在上述圖像顯示部中顯示表示上述一次電子束的照射狀態的圖，并且顯示表示當前的進度狀況的畫面。
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