[發明專利]用于元器件電離輻照的X射線輻照方法

有效

• 申請號: 201610516217.7
• 申請日: 2016-07-04
• 公開（公告）號: CN105976888B
• 公開（公告）日: 2017-09-29
• 發明（設計）人: 李豫東;于剛;于新;何承發;文林;郭旗
• 申請（專利權）人: 中國科學院新疆理化技術研究所
• 主分類號: G21K1/02
• 分類號: G21K1/02;G21K1/10;G21K5/04;G21K1/00
• 代理公司: 烏魯木齊中科新興專利事務所65106
• 代理人: 張莉

1.一種用于元器件電離輻照的X射線輻照方法，其特征在于該方法涉及輻照裝置是由X光管、準直器、限束板、低能散射濾片、電動三維平臺、輻照平臺、激光指示器、水循環進出口組成，在輻照平臺（6）上固定電動三維平臺（5），在電動三維平臺（5）的上部固定X光管（1），準直器（2）一端通過螺紋與X光管（1）連接，準直器（2）的輸出口為圓形，并有螺紋接口，通過螺紋接口連接限束板（3），限束板（3）為圓餅形，在限束板（3）中間有一圓形直通孔，低能散射濾片（4）安裝在限束板（3）與X光管（1）出束口之間，在X光管（1）一端設置有水循環進出口（8），在電動三維平臺（5）的一側分別固定X光管控制器（10）和高壓程控電源（9），X光管控制器（10）通過電纜對高壓程控電源（9）輸入控制指令，高壓程控電源（9）通過高壓電纜為X光管（1）提供電源，輻照平臺（6）位于限束板（3）下方，通過激光指示器（7）精確定位，具體操作按下列步驟進行：

a、根據輻照束斑面積，確定限束板（3）的孔徑，并將確定限束板（3）安裝在準直器（2）上；

b、根據X射線能量確定低能散射濾片（4）厚度，并將低能散射濾片（4）安裝在限束板（3）與光管出束口之間；

c、調節電動三維平臺（5）垂直高度，控制X光管（1）的高度，實現預定的束斑面積；

d、打開激光指示器（7），并調節電動三維平臺（5）水平位置，通過指示點精確定位待測樣品；

e、通過X光管控制器（10）設置X射線能量、束流、輻照時間，對元器件進行輻照。