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[發明專利]用于晶片級器件輻射效應試驗的X射線輻照測試設備在審

專利信息
申請號: 201610516216.2 申請日: 2016-07-04
公開(公告)號: CN106199372A 公開(公告)日: 2016-12-07
發明(設計)人: 李豫東;于新;于剛;文林;何承發;郭旗 申請(專利權)人: 中國科學院新疆理化技術研究所
主分類號: G01R31/265 分類號: G01R31/265;G01R31/303
代理公司: 烏魯木齊中科新興專利事務所 65106 代理人: 張莉
地址: 830011 新疆維吾爾*** 國省代碼: 新疆;65
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 用于 晶片 器件 輻射 效應 試驗 射線 輻照 測試 設備
【權利要求書】:
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