[發明專利]氧化鋁陶瓷及其制備方法和等離子體刻蝕設備有效
| 申請號： | 201610513880.1 | 申請日： | 2016-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN106187123B | 公開（公告）日： | 2019-03-12 |
| 發明（設計）人： | 伍尚華;譚毅成;林勇釗;向其軍;蔣強國;朱祖云 | 申請（專利權）人： | 廣東工業大學;深圳市商德先進陶瓷股份有限公司 |
| 主分類號： | C04B35/101 | 分類號： | C04B35/101;C04B35/622;H01J37/32 |
| 代理公司： | 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224 | 代理人： | 生啟 |
| 地址： | 510006 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 氧化鋁陶瓷 及其 制備 方法 等離子體 刻蝕 設備 | ||
【說明書】：
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