[發明專利]一種復合高k絕緣層薄膜晶體管結構及其制備方法在審
| 申請號： | 201610512028.2 | 申請日： | 2016-07-01 |
| 公開（公告）號： | CN106409918A | 公開（公告）日： | 2017-02-15 |
| 發明（設計）人： | 吳勝利;王若錚;李欣予;張勁濤 | 申請（專利權）人： | 西安交通大學 |
| 主分類號： | H01L29/786 | 分類號： | H01L29/786;H01L21/336;H01L29/423;H01L21/28;H01L21/283;H01L29/06 |
| 代理公司： | 西安通大專利代理有限責任公司61200 | 代理人： | 齊書田 |
| 地址： | 710049 陜*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 復合 絕緣 薄膜晶體管 結構 及其 制備 方法 | ||
【說明書】：
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