[發明專利]一種流體抽排裝置和一種浸沒式光刻機

有效

• 申請號: 201610510465.0
• 申請日: 2016-06-30
• 公開（公告）號: CN107561865B
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發明（設計）人: 趙丹平;聶宏飛
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備（集團）股份有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種流體抽排裝置，用于將浸沒頭中浸液流場邊緣的氣液混合物抽排至氣液回收設備，其特征在于，所述流體抽排裝置包括依次連接的第一抽排管、霧化腔及第二抽排管，所述氣液混合物經所述第一抽排管進入霧化腔中霧化，霧化后再經由所述第二抽排管進入氣液回收設備。

2.根據權利要求1所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述霧化腔包括左右開口的腔室以及分別設置在所述腔室上下方的第一超聲波板和第二超聲波板。

3.根據權利要求2所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述霧化腔腔室的內壁設有至少一組第一導流肋陣列，所述第一導流肋陣列沿所述氣液混合物的流動方向設置，所述第一導流肋陣列中各導流肋平行間隔設置，且各導流肋的高度小于所述腔室的厚度但大于所述腔室厚度的一半。

4.根據權利要求3所述的流體抽排裝置，其特征在于，當所述腔室內設有至少兩組所述第一導流肋陣列時，各個所述第一導流肋陣列沿所述氣液混合物的流動方向平行間隔設置。

5.根據權利要求1所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述第二抽排管的內徑大于所述第一抽排管的內徑。

6.根據權利要求1或5所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述流體抽排裝置還包括第一導流機構，所述第一導流機構為漏斗形，包括大端和小端，所述第一導流機構的大端連通所述霧化腔進液的一端，小端連通所述第一抽排管。

7.根據權利要求6所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述第一導流機構的內壁上設有第二導流肋陣列，所述第二導流肋陣列中各導流肋沿著所述氣液混合物的流動方向設置成發散形態。

8.根據權利要求6所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述流體抽排裝置還包括第二導流機構，所述第二導流機構為漏斗形，包括大端和小端，所述第二導流機構的大端連通所述霧化腔出液的一端，小端連通所述第二抽排管。

9.根據權利要求8所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述第二導流機構的內壁上設有第三導流肋陣列，所述第三導流肋陣列中各導流肋沿著所述氣液混合物的流動方向設置成聚攏形態。

10.根據權利要求1所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述第二抽排管的內部填充有若干毛細管。

11.根據權利要求10所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述流體抽排裝置還包括連接于所述第二抽排管和氣液回收設備之間的第三抽排管路，所述第三抽排管的內部填充有若干毛細管。

12.根據權利要求11所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述第二抽排管內部填充的毛細管與所述第三抽排管內部填充的毛細管相同。

13.根據權利要求11所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述第三抽排管上設有負壓調節閥。

14.根據權利要求11所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述第三抽排管的外部包裹有保溫材料。

15.根據權利要求1所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述第一抽排管的長度小于等于0.3m。

16.根據權利要求1所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述流體抽排裝置還包括供氣裝置，所述供氣裝置包括供氣管路和供氣設備，所述供氣設備通過所述供氣管路與所述霧化腔連通。

17.根據權利要求16所述的流體抽排裝置，其特征在于，所述供氣裝置還包括設置在所述供氣管路上的氣體流量控制閥。