[發明專利]一種碳化硅襯底的優化方法在審
| 申請號： | 201610503578.8 | 申請日： | 2016-06-30 |
| 公開（公告）號： | CN106048716A | 公開（公告）日： | 2016-10-26 |
| 發明（設計）人： | 于國建;宗艷民;梁慶瑞;宋生 | 申請（專利權）人： | 山東天岳先進材料科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B25/18 | 分類號： | C30B25/18;C30B25/20;C30B29/36 |
| 代理公司： | 濟南舜源專利事務所有限公司 37205 | 代理人： | 苗峻;楊婷 |
| 地址： | 250000 山東省濟南市高新區新*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碳化硅 襯底 優化 方法 | ||
【權利要求書】：
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