[發明專利]充滿流體的細長的壓力傳感器

有效

• 申請號: 201610498440.3
• 申請日: 2016-06-29
• 公開（公告）號: CN107192498B
• 公開（公告）日: 2021-01-15
• 發明（設計）人: 馬克·斯蒂芬·舒馬赫
• 申請（專利權）人: 羅斯蒙特公司
• 主分類號: G01L7/04
• 分類號: G01L7/04
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司 11021
• 代理人: 黃亮

壓力傳感器包括響應于施加的壓力而形變的、具有形成在其中的空腔的細長本體。隔離膜片將空腔密封以隔離過程流體，并且被配置為響應于從過程流體施加的過程壓力而偏轉。響應于隔離膜片的偏轉，空腔中的隔離填充流體向細長本體施加壓力，由此引起細長本體的偏轉。形變傳感器耦合到細長本體，并且響應于細長本體的形變來提供指示過程壓力的傳感器輸出。

技術領域

本發明涉及用于感測工業過程中的過程流體的壓力的一類壓力傳感器。更具體地，本發明涉及充滿填充流體的壓力傳感器。

背景技術

工業過程在過程流體等的制造和分發中使用。在這樣的工業過程中，測量過程的各種“過程變量”以便監視和/或控制過程的操作是已知的。這樣的過程變量包括壓力、溫度以及流量等等。這些過程變量是使用可以在被稱作“現場設備”或“過程變量變送器”的設備中實現的過程變量傳感器來測量的。過程變量變送器使用過程變量傳感器來測量過程變量，并且向遠程位置(例如中央控制室)發送與測量出的過程變量有關的信息。

測量過程流體的壓力的各種技術是已知的。這些技術包括直接向過程流體暴露壓力傳感器的配置、以及壓力傳感器與過程流體相隔離的配置。然而，存在改進壓力測量布置的持續需求，這其中包括能夠經受住高壓的布置以及抵御強大的沖擊或振動的布置。

發明內容

壓力傳感器包括響應于施加的壓力而形變的、具有形成在其中的空腔的細長本體。隔離膜片將空腔密封以隔離過程流體，并且被配置為響應于從過程流體施加的過程壓力而偏轉。響應于隔離膜片的偏轉，空腔中的隔離填充流體向細長本體施加壓力，由此引起細長本體的偏轉。形變傳感器耦合到細長本體，并且響應于細長本體的形變來提供指示過程壓力的傳感器輸出。

提供了本發明內容和說明書摘要，以簡化形式來介紹概念選擇，該概念選擇在具體實施方式中被進一步詳細說明。發明內容和說明書摘要不意圖標明所請求保護主題的關鍵特征或基本特征，也不意圖用于輔助確定所請求保護主題的范圍。

附圖說明

圖1A是現有技術的細長的壓力傳感器的斜視圖。

圖1B是圖1A的現有技術的細長壓力傳感器的截面圖。

圖2是根據一個示例實施例的細長壓力傳感器的截面圖。

圖3是示出了與圖2的壓力傳感器相關布置的形變傳感器和參考傳感器的示意圖。

圖4是示出了使用圖2的壓力傳感器配置的過程變量變送器的簡化框圖。

具體實施方式

提供了壓力傳感器配置，其中對細長本體的內部空腔施加工業過程的過程壓力。施加的壓力引起細長本體的偏轉。偏轉傳感器耦合到細長本體，并且被配置為基于細長本體的偏轉來提供輸出。隔離填充流體在從過程流體向細長本體傳遞壓力的同時，將細長本體與過程流體相隔離。該配置可以用于提供魯棒的設計，同時還防止過程流體從工業過程中泄漏。